近日,中国兵器工业集团微电子院在MEMS领域取得新成果,推出自主研发的新产品高精度MEMS智能传感器产品。
微电子院领航国内MEMS晶圆制造技术,自主研发具有高精度、低功耗、小型化特点的系列MEMS智能传感器,可广泛应用于智能汽车、航空航天、工业测控等领域,相关产品达到国际先进水平。下一步,微电子院将继续开展MEMS核心关键技术攻关,打造原创技术策源地,推动科技成果转化,加快培育新质生产力,为微电子行业繁荣发展提供有力支撑。
近日,中国兵器工业集团微电子院在MEMS领域取得新成果,推出自主研发的新产品高精度MEMS智能传感器产品。
微电子院领航国内MEMS晶圆制造技术,自主研发具有高精度、低功耗、小型化特点的系列MEMS智能传感器,可广泛应用于智能汽车、航空航天、工业测控等领域,相关产品达到国际先进水平。下一步,微电子院将继续开展MEMS核心关键技术攻关,打造原创技术策源地,推动科技成果转化,加快培育新质生产力,为微电子行业繁荣发展提供有力支撑。
关键词:北方微电子院 高精度MEMS智能传感器 浏览量:9744
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