三坐标的日常维护直接影响仪器的测量精度、速度和使用寿命，因此必须做好维护工作。
1、环境温度，20℃±2℃，相对湿度55%-65%。
2、 操作员每天开机前应该用干净的绸布蘸适量的高纯度酒精擦拭气浮导轨的工作区。注意：擦拭时由机内向机外方向擦拭。
3、 检查X、Y、Z轴运动是否正常，全行程运行，检查数显是否工作正常。
4、每日开机前检查机器后面的气体安装板是否有气，每日对气体安装板的三联体放水，以免水分进入空气轴承，影响精度。
5、检查以上项目无问题后，开计算机使机器回零。如没有问题，则开始校验标准球，校验标准球是重点。
6、工作完毕后，记住关闭测量机气体安装板上的气源。
7、 每月用吸尘器清理外表及环境；检查压缩空气压力表示值是否正常。（应指示在0.55-0.65Mpa之间）；检查平衡装置有无故障，若损坏应立即修理更换。
8、同步带每季度检查同步带，如同步带有磨损、断裂现象，则需 予以更换。
9、 气动调压阀：每季度检查调压阀，调压阀压力指示应在0.2~0.3Mpa之间，手拉Z轴上下移动，拉力和阻力应相等。若调压阀压力指示不在该范围内，则需更换气动调压阀。
10、气路系统：每周一次检查安装在底座后部气电安装板上的三联体。应逆时针旋转粗、细过滤器下端叶柄，打开放水阀放水。待将要放完水时应立即顺时针旋叶柄，关闭放水阀。粗、细过滤器中的滤芯和存水杯应定期清洗。滤芯须放入汽油中清洗，用压缩空气吹净。拆卸时卸下存水杯，然后拧开滤芯固定螺母，取出滤芯。存水杯放入石油醚溶液中漂洗。（切忌用丙酮，乙醚，甲苯等溶液清洗）
11、 放水阀打开后而不放水，系污物堵塞放水通道所至。应清洗排放旋塞，除去杂物。
12、放水阀中漏气维修措施；可能是放水阀没有拧紧，应紧固放水阀；杂物卡住放水阀，使其关闭后不密封，应清洗放水阀，去除杂物；放水阀阀座损坏，请更换阀座。
13、三联体在平衡状态下溢流口漏气，此时应当检查进气阀和溢流口是否有污物，有污物应取下清洗；检查膜片是否破损，如膜片破损则应立即更换。
14、三联体输出压力发生激烈波动或不均匀变化时，应检查“O”形圈是否损坏，如损坏需取下更换。
15、若外供气压合适，而三联体调压时压力升不上去，应检查弹簧是否断裂，如断裂应及时更换。
16、三联体定期检查。
