一种微电流测量方法的研究

图9差分电路后输出波形

5.3测试数据

测试数据，如表1所示不同值的5次测量结果。

对于100 pA，测量平均值：

=100.156 pA，测量误差为0.16%，测量重复性s=0.24 pA；

对于10 pA，测量平均值：

=9.993 pA，测量误差为- 0.07%，测量重复性s=0.04 pA.

测量准确度、重复性达到预期目的，符合0.5级要求。

6结论

随着电子测量技术的进一步发展，pA级别的电流测量在众多领域具有极其重要的地位，微电流测量极易受到环境条件和测量仪器自身噪声的影响。依据提出的测量方法设计的测量仪器经高、低温、电磁干扰等试验，对于10 pA电流，仪器准确度可达0.5级，具有较高的准确度和较好的测量重复性、稳定性。试验数据表明，去除工频干扰和直流误差的影响是减小微电流测量误差的主要因素。