一、MEMS基本概念和相关产业政策
MEMS基本概念
微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。
微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产的基本特点。
MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。在十四五规划的集成电路纲要就包含了MEMS。
MEMS相关产业政策
近年来，中国发展智能传感器产业已上升为国家战略。随着一系列政策的频繁出台以及3C产品、汽车电子等下游行业的快速发展，中国MEMS传感器市场需求旺盛，历年持续保持快速增长，从细分领域来看，惯性传感器、压力传感器、麦克风等领域均保持连年增长的趋势。
资料来源：国务院，国家发改委，工业和信息化部
二、MEMS主要分类和应用
MEMS 传感器种类很多，也有多种分类方法。按其工作原理，大致可分为 MEMS 物理、化学和生物传感器，其中每一种 MEMS 传感器又可分为很多种小类，不同的 MEMS 传感器可以测量不同的量，实现不同的功能。主要的 MEMS 传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。其中运动传感器可分为陀螺仪、加速度计、磁力计。
从产品结构上看，目前全球排名前五的MEMS传感器细分领域为射频、压力、麦克风、加速计和陀螺仪，占比接近65%；中国市场的这一排序为射频、压力、麦克风、惯性和加速度计，与全球市场相似。
图3 MEMS产品结构传感器分类
三、MEMS产业链
类似于传统半导体产业，主要包括了四大部分：前端 Fabless 设计环节、ODM 代工晶圆厂生产环节、封装测试到下游最终应用的四大环节。
图4 MEMS产业链
图5 MEMS产业链细分
中国的设计、制造、封装测试厂商都在积极布局 MEMS，已形成完整 MEMS 的产业链。
图6 MEMS产业链企业分布
长三角区域：以上海、无锡、南京为中心。逐渐形成包括热敏、磁敏、图像、称重、光电、温度、气敏等较为完备的传感器生产体系及产业配套。
珠三角区域：以深圳中心城市为主。由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。
东北地区：以沈阳、长春、哈尔滨为主。主要生产 MEMS 力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。
京津区域：主要以高校为主。从事新型传感器的研发，在某些领域填补国内空白。北京已建立微米 / 纳米国家重点实验室。
中部地区：以郑州、武汉、太原为主。产学研紧密结合的模式，在 PTC/NTC 热敏电阻、感应式数字液位传感器和气体传感器等产业方面发展态势良好。
图8 国内MEMS企业分布
四、现有市场竞争格局
