Intel 3工艺节点带来的一些重大优势包括更密集的设计库、更大的晶体管驱动电流和更多EUV的使用。该节点还有三种变体,包括3-T、3-E 和 3-PT。前两种变体与Intel 4相比,每瓦性能提升了18%,而PT则带来了额外的性能并且易于使用。所有四种节点变体都支持240nm高性能和210nm高密度库。其中,“T”代表硅通孔 (TSV),这是一种垂直方向的电气连接,可实现芯片元件之间或堆叠芯片之间的高速互连。
在英特尔看来,Intel 3将在未来至少十年内长期支持代工厂客户,从而为汽车和物联网等需要更长生命周期的应用打开大门。Intel 3的生产爬坡不仅仅是一项制造成就,它代表了英特尔代工厂的一个重要里程碑和证明点。
值得一提的是,Intel 3节点是英特尔路线图上的最后一代FinFET节点,因为从下一代开始,英特尔就开始推出了其GAA晶体管RibbonFET。
在5月的财报电话会议上,Intel CEO帕特·基辛格(Pat Gelsinger)指出,公司的第一代GAA RibbonFET工艺,即intel 20A,有望在今年推出;后续产品是intel 18A,预计将于2025年上半年投入生产,并逐步推进至2027年的Intel 10A节点。
英特尔两大利器分别是RibbonFET和PowerVia技术:RibbonFET是英特尔对GAA晶体管的实现,它将成为英特尔自2011年率先推出FinFET以来的首个全新晶体管架构;PowerVia是英特尔独有的、业界首个背面电能传输网络,通过消除晶圆正面供电布线需求来优化信号传输。
在英特尔的规划中,还将率先采用ASML最新的High-NA EUV光刻机,这也是与竞争对手不同的点。英特尔表示,新工具能够大幅提高下一代处理器的分辨率和功能扩展能力,使英特尔代工厂能够在英特尔18A之后继续保持工艺领先地位。
与此同时,英特尔也在持续加大力度,今年2月公布了Intel 14A制程,采用了High-NA EUV技术,预计最快于2026年量产。而最新的14A-E版本则在14A基础上进一步提升了能耗效率。