关关难过,关关过。从10像元到60像元,再到180像元,方家熊带领团队在不到10年时间里出色完成了这些看似不可能完成的任务。回忆起那段持续攻关的日子,方家熊忍不住感慨道:“精神上的高压让我常常感到腿像灌了铅似的,拖也拖不动。”
红外探测器是遥感卫星能够“看得清”的关键。60像元和180像元器件,为后续应用于“风云二号”气象卫星、“神舟三号”飞船等的碲镉汞红外探测器组件奠定了基础。
180像元长波红外探测器。
“我们有一批愿意为国家服务的工程师和科学家。”上海技物所研究员李向阳表示,“研究所‘垂直整合’的架构为科研人员提供了一个舞台。同等条件下,我们可以通过付出尽可能少的时间和人力,做出满足不同应用需求的红外探测器。”
随着我国探测技术的发展和使用要求的提高,上海技物所“以任务带学科”,持续提升碲镉汞红外探测器性能,同时拓展铟镓砷、氮化镓等探测器的基础研究和应用。
“摸着石头过河”
红外焦平面探测器主要由红外像元芯片和读出集成电路两部分组成,兼具感应红外辐射信号和信息处理功能。
早在多元红外探测器阵列研制的起步阶段,汤定元便强调:“由于我国红外技术起步比发达国家晚,应先增加这方面的投入,加快‘红外焦平面阵列’的研制速度。”1987年至1996年间,上海技物所组织专家共同论证了红外焦平面成像等技术开发的重要性与紧迫性。
历史在此刻重演。1994年,在半导体材料和器件领域颇有建树的科学家何力毅然放弃国外的高薪工作,加入上海技物所,并在4年后成为新成立的材器中心的首任主任。
发展红外焦平面探测器,必须先有大尺寸的碲镉汞材料。何力认为,分子束外延技术或许可以满足条件。
“薄膜材料的外延生长得先有一个‘桌面’,再在上面生长材料,这个‘桌面’就是衬底。”上海技物所研究员周易解释说,“以往都用碲锌镉,因为它和碲镉汞的性质比较接近,材料容易生长,但大尺寸碲锌镉材料极难制备。”
考虑到硅的晶圆可以做得很大,除了发展大尺寸碲锌镉衬底材料外,何力创新性地提出采用砷化镓和硅基晶圆作为衬底的碲镉汞材料制备技术。同前辈们一样,他带领团队“摸着石头过河”,从琢磨路线、采购设备做起,不断摸索材料生长的最优方案。
把红外像元芯片和集成电路合二为一的工作,也在有条不紊地并行。上海技物所研究员丁瑞军回忆,项目最初,他所在的团队经过两年多辛苦努力,终于攻克了倒焊互连等技术难题,测试结果一切正常。当他兴致勃勃地将一块芯片送去封装,却瞬间傻了眼——当被放入模拟的真空、低温环境中时,芯片碎了。
“我向龚惠兴院士汇报了这件事。他提醒我,先调研低温下材料的各种参数,再做仿真模拟,把问题都分析清楚后,最后做实验验证。”丁瑞军马上集合所有相关小组,经过3个月的分析调研,终于找到了问题所在。
在各个攻关小组的共同努力下,2005年,由上海技物所团队研制的大面积碲镉汞材料跟随卫星进入太空。这也是我国红外焦平面碲镉汞探测器首次应用于航天领域。
材器中心研制团队在实验室进行检测。上海技物所供图
2014年,伴随着航天用红外探测器需求井喷式爆发,原有的实验室工艺生产线已无法满足大面积、超长阵列产品生长需要,上海技物所决定在上海嘉定建立一条红外焦平面器件的工艺生产线。
上海技物所研究员林春、陈路和青年职工周昌鹤等人齐上阵、两头跑,兼顾日常研究工作的同时,集中搭建、调试生产线上的上百台设备,跟踪每一道工艺。正是在这条生产线上,诞生了迄今公开报道的国际上最长的红外焦平面探测器。
“我很幸运地参与并见证了这个领域的蓬勃发展。”林春感叹道。
“扛红外大旗”
1983年,以7位中国科学院院士为首的专家团队,对上海技物所进行了为期6天的深入考察与评议。评议报告指出:“该所在国内红外技术发展中成绩显著,有一支具有一定水平的科研队伍,能承担国家有关的重大科研任务。”