德州仪器(TI)的DLP® NIR芯片组就是一种久经考验的MEMS技术。这项技术提供针对小巧、可编程且高性能光谱分析仪的高保真光调制。其中,TI DLP2010NIR和DLP4500NIR可实现令人激动的全新波长控制特性,比如说哈达玛图形和旋转扫描动态可编程性。其它新涌现的MEMS技术,其中包括法布里-珀罗干涉仪和迈克尔逊干涉仪,显示出仪器架构简化方面的良好发展前景,不过仍然面临着满足信噪比和分辨率标准等实验室性能需求的挑战。
虽然有很多的光谱分析仪架构选择,MEMS技术的吸引力仍与日俱增。动态可编程性、成本降低、使用单点探测器,以及免除对大型移动部件的需要只是基于MEMS的架构所能提供众多优势中的一部分。这些优势,与可靠系统集成组合在一起,在现场部署期间,会变得更加关键。