共性考核指标：目标产品应通过可靠性测试和第三方异地测试，技术就绪度达到9级;至少应用于2类仪器;明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量;形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.1 X射线菲涅耳透镜
研究目标：开发X射线菲涅耳透镜，突破纳米尺度微结构的高深宽比加工技术难题，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在同步辐射、显微CT、软X射线成像等仪器中的应用。
考核指标：最外环宽度≤25nm@500eV，环高≥200nm@500eV;最外环宽度≤40nm@9keV，环高≥700nm@9keV，衍射效率≥1%@9keV;X射线聚焦≤60nm;平均故障间隔时间≥5000小时。
1.2 S波段高功率速调管
研究目标：开发S波段高功率速调管，突破高压电子枪、高功率容量输出窗口技术，解决速调管工作稳定性难题，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在高能对撞机、同步辐射光源、自由电子激光装置、辐射成像装置、辐照加速器等仪器装置中的应用。
考核指标：中心频率2998MHz，带宽2MHz，最大输出功率≥50MW，脉冲宽度2μs，脉冲重复频率≥50Hz，效率≥45%，增益≥50dB;平均故障间隔时间≥5000小时。
1.3 太赫兹倍频器
