考核指标：样品尺寸1nm~20μm，自旋保持时间≥100µs，时间分辨率≤50ps;自旋空间测量范围0.1nm~2μm;自旋空间横向分辨率≤0.1nm，纵向分辨率≤0.01nm;自旋间力测量范围0.2nN~5nN，分辨率≤0.2nN;平均故障间隔时间≥3000小时。
2.15 低场量子电阻测量仪
研究目标:针对电阻高准确度校准的需要，突破低场量子电阻测量和计量传递等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的低场量子电阻测量仪，开发相关软件和数据库，实现低磁场、无需补充液氦低温条件下可移动和不间断运行的高准确度电阻测量。开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标：测量范围1Ω~10kΩ，低磁场量子电阻不确定度≤1×10-8，高准确度电阻传递装置不确定度≤1×10-8，可移动式基准级低场量子电阻测量系统的整体不确定度≤2×10-8，所需超导磁体磁感应强度≤6T，低温装置温度范围4.2K~10K;平均故障间隔时间≥3000小时。
2.16 高精度三维螺纹综合测量仪
研究目标：针对先进制造领域螺纹几何参数的综合性检测需求，突破内外螺纹三维扫描高精度测头和三维参数高效重构关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的高精度三维螺纹综合测量仪，开发相关软件和数据库，实现螺纹全参数的三维自动扫描检测。开展工程化开发、应用示范和实现产业化。
