考核指标:采集通道数≥1000,最高存储速度≥500MB/s,存储容量≥256GB,耐高温烧蚀1200℃@60min;抗冲击强度≥10000g,持续时间5ms;耐海水浸泡≥30天,耐深海压力≥6000m@24h;体积≤2500cm3,重量≤3.5kg;具有视频记录、链路记录、授时、文件索引管理等功能,符合适航认证标准;平均故障间隔时间≥50000小时。
1.14 高分辨率多功能原子探针
研究目标:开发高分辨率多功能原子探针,突破高耐磨材料制备和纳米尺度结构制备工艺的难题,开展工程化开发、应用示范和产业化推广,形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品,实现在原子力显微镜、磁力显微镜等仪器中的应用。
考核指标:普通探针尖端曲率半径范围5nm~1μm,深宽比≥5,弹性常数范围0.01N/m~40N/m,加工误差≤±10%;高分辨探针尖端曲率半径≤5nm,深宽比≥3;磁性探针曲率半径≤30nm;电性探针曲率半径≤30nm;成品率≥90%;使用寿命≥1000幅扫描成像。
1.15 高精度微型压力传感器
研究目标:开发高精度微型压力传感器,突破多参量协同敏感和低残余应力封装等关键技术,开展工程化开发、应用示范和产业化推广,形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品,实现在工业流程监控仪、大气数据采集仪、高精度压力控制仪等仪器中的应用。
考核指标:压力测量范围0~1MPa,测量误差≤0.03%FS,测量分辨率≤0.02%FS,长期稳定性≤±0.05%FS/年,尺寸≤5mm×5mm×5mm,工作温度-40℃~ 85℃,过载能力≥2倍FS,抗加速度冲击≤0.05kPa/g;平均故障间隔时间≥5000小时。