1.16 高精度加速度传感器
研究目标：开发高精度微型加速度传感器，突破温度漂移抑制和工艺一致性等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在航空仪表、微惯性测量单元等领域仪器中的应用。
考核指标：量程±50g，分辨率≤5µg，综合精度≤10µg，输入轴失准角≤12µrad，重复性≤4.5×10-4/年，功耗≤5mW，封装体积≤φ20mm×12mm,工作温度范围-45°C~ 85°C，抗冲击≥250g;平均故障间隔时间≥5000小时。[pagebreak]
1.17 阵列式微型超声换能器
研究目标：开发阵列式微型超声换能器，突破大幅面阵列阵元制备关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在超声成像、流量检测、指纹识别等仪器中的应用。
考核指标：阵列尺寸≤40mm×40mm，阵元数量≥64×64，工作频率范围100kHz~2MHz，空气中声压级≥75dB（20µPa/V@1m），波束宽度≤30°，机械品质因数≥30;平均故障间隔时间≥5000小时。
1.18 微型风速风向传感器
研究目标：开发高性能微型风速风向传感器，突破闭环控制和温度漂移抑制等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在风电厂风场检测仪、野外便携式气象检测仪、环境检测仪等仪器中的应用。
