日本电子零组件厂从家电转移到手机与汽车零组件后，积极投入微机电(MEMS)传感器研发，推出各种超小型与高精度的传感器，扩大传感器的应用;随物联网(IoT)概念兴起，传感器在物联网社会中将扮演更重要的角色。
北陆电气工业(HDK)原本便生产多种传感器，随微机电传感器在传感器领域的重要性渐增，北陆电气也转而研发微机电技术，生产微机电传感器，并将传感器与基板等其他零组件、以及必须软体，组成模组一起销售，扩大相关事业。目前该社以超小型湿度传感器为主力产品。
村田制作所(Murata)踏入微机电领域，始自2012年购并前芬兰传感器大厂VTI Technology、改名为Murata Electronics Oy，接下来开始生产各种运动与方位用途的微机电传感器，用在汽车、医疗保健、电力、生化研究、IT等各种领域。
目前村田强调的微机电传感器，是全球首款表面实装型角加速度传感器，长5.2毫米(mm)、宽2.5毫米、高0.8毫米，可望取代过去的螺丝端子型或圆筒型角加速度传感器，让运动感测系统的设计更为多元。
TDK、 Alps电气(Alps Electric)与罗姆半导体(Rohm Semiconductor)的微机电传感器则以压力或湿度感测为主，可感测高度差200毫米等级的微小气压差，足以精确测量高度。这些厂同时积极与运动 传感器厂合作，推出结合运动方位感测与气压感测的传感器模组，供智能型手机或穿戴式装置应用。
而Mitsumi电机(Mitsumi Electric)与日本航空电子工业(JAE)等二厂，目前正在积极开发微机电传感器，用于汽车及基础建设市场。
