鼓励智能传感器相关企业与高校、科研院围绕智能传感器产业，以委托研发、联合攻关等形式紧密开展产学研合作的，对关键核心技术等方面取得重大突破的，经认定给予最高100万元的一次性奖励。
鼓励智能传感器相关企业因开展高端芯片、先进或特色工艺研发需购买知识产权的，按其购买费用的50%的给予扶持，单个企业每年扶持总额不超过300万元。
支持集成电路及MEMS设计企业研发，给予工程产品首轮流片50%的扶持，单个企业每年扶持总额不超过200万元。
对开展工程样片的功能、性能、可靠性、兼容性、失效分析等方面的测试验证及相关认证的智能传感器相关企业，按测试认证的实际发生费用的50%给予扶持，单个企业每年扶持总额不超过200万元。
支持企业规模发展：
支持智能传感器相关企业通过开展兼并收购等活动，重组、整合上下游产业链，区相关产业投资基金可共同参与或提供资金支持。
对成功并购国内外智能传感器领域上下游产业链的相关企业或研发机构给予并购金额10%，最高1000万元的奖励。
对智能传感器相关企业年度营业收入首次突破1亿元、5亿元、10亿元、20亿元、50亿元的企业，视其贡献分别给予核心团队50万元、100万元、150万元、200万元、500万元一次性奖励，每上一个台阶奖励一次、实施晋档补差。
对主导制订国际、国家、行业、团体标准的智能传感器相关企业或机构，分别给予100万元、50万元、20万元和10万元的一次性奖励。
与此同时，嘉定区还提出智能传感器相关企业引进的产业紧缺人才和专业人才可优先享受嘉定区“双高”人才计划等各类人才聚集政策，以及鼓励建立智能传感器相关企业发展所需的公共服务平台，对平台建设、示范推广给予支持，按项目投资最高不超过30%给予扶持，单个企业扶持总额不超过500万元等加强合作政策。
据称，已有32家企业签约入驻智能传感器产业园，总投资额达248亿元。项目遍及传感器芯片设计、制造、材料、系统、应用、封装、测试等产业链诸环节。其中，中电科13所MEMS项目、华进半导体等17个项目投资过亿。
上述这些优质项目的集中入驻，夯实了嘉定作为上海先进制造业基地之上海市集成电路产业“一体两翼”重要组成部分的基础，成为拉动嘉定区域经济发展的强大引擎。
