近日，科学技术部发布国家重点研发计划 “制造基础技术与关键部件”重点专项2021年度项目申报指南。
“制造基础技术与关键部件”重点专项2021年度项目申报指南中明确提到，本重点专项按照产业链部署创新链的要求，从基础前沿技术、共性关键技术、示范应用三个层面，围绕关键基础件、基础制造工艺、先进传感器、高端仪器仪表和基础技术保障五个方向部署实施。
在2021年度拟启动项目研究方向中，与仪器仪表、传感器相关的如下：
一、共性关键技术
1、滚动轴承基础物理参数检测技术(青年科学家项目)
研究内容：研究滚动轴承润滑性能检测原理与技术；研究滚动轴承旋转组件温度检测原理与技术；研究滚动轴承内部游隙及受力状态检测原理与技术；开展滚动轴承基础物理参数检测技术验证。
考核指标：研制出真实工况条件下轴承的油膜厚度与分布、旋转组件温度、轴承内部游隙及受力状态的检测装置；油膜厚度测量范围0.1~300μm，分辨率优于0.1μm；运转条件下轴承内外套圈、保持架的温度测量范围 RT~180℃，精度优于±0.5℃，测量转速不低于30000r/min；运行状态下力测量范围不小于轴承额定动载荷的30%，精度优于±1%FS；申请发明专利≥3项。
2、高性能液压阀性能在线监测与智能控制(青年科学家项目)
研究内容：研究液压阀口的冲蚀磨损及阀芯卡滞机理与演化规律；建立多维融合感知的液压阀性能衰退与预测模型；研究电液控制阀服役过程的实时补偿技术，开发具有性能监测和故障诊断功能的可编程集成控制器；开展相关试验验证。
考核指标：高可靠智能型电液控制阀样机2种以上；控制精度<0.1%，典型故障检测类型≥5类，识别率≥80%；具备IO-link总线通讯接口的位置轴控精度不低于1%FS；申请发明专利≥3项。
3、齿轮传动系统多维信息感知及智能运维(青年科学家项目)
研究内容：研究传动/感知/控制等深度融合的智能化齿轮传动系统，探索传动系统全生命周期内轮齿损伤(如点蚀、磨损、胶合、断齿)、应力、温度、振动等多维信息监测新方法；研究齿轮传动系统多维信息的故障自诊断及自适应调控等智能运维机制；研究齿轮传动系统服役性能及残余寿命的智能预测方法。
考核指标：齿轮传动系统智能感知及智能运维验证系统1台/套；具备传动系统内部应力、温度、振动及轮齿损伤等监测功能，监测精度优于5%；具备智能运维功能，故障自诊断正确率不低于80%；申请发明专利≥3项。
4、基于二维材料的柔性应变传感器阵列(青年科学家项目)
研究内容：研究基于二维材料的柔性应变传感器敏感材料的性能调控方法和微观机理；研究与微纳加工、印刷工艺兼容的应变敏感材料、传感器结构、可靠性及封装技术，以及柔性应变传感器阵列的加工方法；在工业或人体表皮进行长期连续监测验证。
考核指标：传感器应变系数≥500，拉伸性≥50%，最低检测限≤0.08%，循环稳定性≥50000次@5%应变，响应时间≤50ms；阵列性能离散性≤5%；研制应变传感可穿戴集成系统原型，申请发明专利≥3项，制定技术规范或标准≥1项。
5、高灵敏磁电阻传感器(青年科学家项目)
研究内容：研究高灵敏磁电阻传感器敏感材料、原理和结构；研究低噪声磁性多层膜结构材料；研究磁电阻—微机电和磁电阻—超导一体化调制效应的影响机理；研究高灵敏磁传感器芯片制造工艺；研究传感器的噪声抑制、磁通汇聚、三维集成、封装等关键技术；研究传感器ASIC芯片设计；研制原型器件，并在工业现场试验验证。
考核指标：磁传感器灵敏度优于200mV/V/Oe，量程≤±100μT，功耗≤100mW，本底噪声≤1pT/Hz@1Hz；申请发明专利≥3项。
6、高灵敏MEMS三维电场传感器(青年科学家项目)
研究内容：研究高灵敏MEMS三维电场传感器的敏感机理和结构；研究三分量电场耦合干扰抑制方法及高精度测量方法；研究传感器制备工艺、抗表面电荷积聚封装等关键技术；研究传感器弱信号检测方法，研制出传感器原型，并在工业现场试验验证。
考核指标：传感器测量范围0~100kV/m；单分量电场分辨力优于1V/m；轴间耦合度<5%；准确度优于5%；传感器敏感结构尺寸≤12mm×12mm；申请发明专利≥3项，制定技术规范或标准≥1项。
7、工业测控高精度硅基压力传感器关键技术
