在毫米波亚毫米波硅基集成电路方面我国大陆起步稍晚, 但在国家973 计划、863 计划和自然科学基金等的支持下, 已快速开展研究并取得进展。 东南大学毫米波国家重点实验室基于90 nm CMOS 工艺成功设计了Q、V 和W 频段放大器、混频器、VCO 等器件和W 波段接收机、Q波段多通道收发信机等, 以及到200 GHz 的CMOS 倍频器和到520 GHz 的SiGe 振荡器等。
2、毫米波电真空器件
毫米波集成电路具有体积小、成本低等很多优点,但功率受限。 为了获得更高的输出功率, 可以采用电真空器件, 如加拿大CPI 公司研制的速调管(Klystron) 在W 波段上获得了超过2000 W 的脉冲输出功率, 北京真空电子研究所研制的行波管(TWT) 放大器在W 波段的脉冲输出功率超过了100 W,电子科技大学在W 波段上也成功设计了TWT 功率放大器, 中国科学院合肥物质科学研究院研制的迴旋管(Gyrotron) 在140 GHz 上获得了0.9 MW 的脉冲输出功率, 与国外水平相当。
3、毫米波应用
近年来, 毫米波器件性能的不断提高, 成本的不断降低, 有力促进了毫米波在各个领域的应用。 目前基于毫米波频段的应用主要体现在毫米波通信、毫米波成像及毫米波雷达等方面。
3.1 毫米波通信