源测量单元(SMU)是一种可以提供电流或电压，并测量电流和电压的仪器。SMU用来对各种器件和材料进行I-V表征，是为测量非常灵敏的弱电流，同时提供或扫描DC电压而设计的。但是，在拥有长电缆或其他高电容测试连接的测试系统中，某些SMU可能不能在输出上容忍这样的电容，从而产生有噪声的读数和/或振荡。
泰克日前为Keithley 4200A-SCS参数分析仪推出两款最新源测量单元(SMU)模块。
4201-SMU中等功率SMU和4211-SMU高功率SMU(选配4200-PA前置放大器)可以进行稳定的弱电流测量，包括在高测试连接电容的应用中也非常稳定，例如使用非常长的三芯同轴电缆来连接器件的应用。与其他灵敏的SMU相比，4201-SMU和4211-SMU的最大电容指标已经提高，这些SMU模块用于可配置的Model 4200A-SCS参数分析仪，使用Clarius+软件进行交互控制。
本文探讨了4201-SMU和4211-SMU可以进行稳定的弱电流测量的多种应用实例，包括测试：平板显示器上的OLED像素器件、长电缆MOSFET传递特点、通过开关矩阵连接的FET、卡盘上的纳米FET I-V测量、电容器泄漏测量。
实例1：平板显示器上的OLED像素器件测试
在测量平板显示器上的OLED像素器件的I-V曲线时，通常会通过开关矩阵把SMU连接到LCD探测站上，这时会采用非常长的三芯同轴电缆(一般在12-16m)。
图1是采用Keithley S500测试系统的典型的平板显示器测试配置。S500是一种自动参数测试仪，它可以量身定制，通常用来测试平板显示器。对图中所示的情况，S500中的SMU通过开关矩阵连接到探测站，然后探测卡再把测试信号连接到玻璃平板上的DUT。由于使用非常长的电缆进行连接，所以如果测量技术和仪器使用不当，就会导致弱电流测量不稳定。
图1. 使用Keithley S500测试系统测试平板显示器的配置图
如图2示，在使用传统SMU通过16m三芯同轴电缆连接到DUT上时，OLED器件两个I-V曲线中的饱和曲线(橙色曲线)和线性曲线(蓝色曲线)都不稳定。但是，使用4211-SMU在DUT的漏极端子上重复这些I-V测量时，I-V曲线稳定了，如图3所示。
图2.传统SMU测得OLED饱和及线性I-V曲线 图3. 4211-SMU测得OLED的饱和及线性I-V曲线
实例2：长电缆nMOSFET传递特点测试
可以使用两个SMU生成n型MOSFET的Id-Vg曲线。一个SMU扫描栅极电压，另一个SMU测量漏极电流。图4是典型测试电路的电路示意图，其中使用20m三芯同轴电缆把SMU连接到器件端子上。
图4. 使用两个SMU测量MOSFET的I-V特点
图5显示了使用两个传统SMU及使用两个4211-SMU测量的传递特点。蓝色曲线(使用两个传统SMU获得)在曲线中显示了振荡，特别是在弱电流及改变电流范围时。红色曲线是使用两个4211-SMU得到的电流测量，非常稳定。
图5. 使用传统SMU和4211-SMU及20m三芯同轴电缆生成的nMOSFET Id-Vg曲线
实例3：通过开关矩阵连接的FET测试
测试通过开关矩阵连接的器件时，可能会面临很大挑战，因为要求额外的线缆。三芯同轴电缆用来把SMU连接到开关矩阵上，再从开关矩阵连接到DUT。图6显示了典型的电路图，其中两个SMU使用远程传感连接开关矩阵。使用远程传感(4线测量)而不是本地传感(2线测量)，要求每个SMU连接两条电缆，由于电缆是平行的，所以这会使SMU输出的电容提高一倍。
图6. 通过707B开关矩阵把SMU连接到DUT的简化示意图
在这种情况下，SMU使用2m电缆连接到开关矩阵的行(输入)上；开关矩阵的列(输出)使用5m电缆连接到配线架上。然后再使用另一条1m电缆从配线架连接到探头，所以从一个SMU到DUT的三芯同轴电缆的总长度是：(2 x 2 m) + (2 x 5 m) + (1 m) = 15 m。除了三芯同轴电缆外，开关矩阵本身也增加了电容，在计算测试系统总电容时可能需要包括进去。
在测量通过开关矩阵连接的FET器件的输出特点时，使用两个4211-SMU较使用两个传统SMU的结果明显改善。在这项测试中，其中一个SMU被偏置恒定栅极电压，另一个SMU扫描漏极电压，测量得到的漏极电流。使用两个传统SMU (蓝色曲线)和两个4211-SMU (红色曲线)生成的漏极电流相对于漏极电压关系曲线如图7所示。
