(4)进料机构采用物料篮(花篮)自动进料,物料篮必须与设备配套使用,人工将物料篮安装到设备进料口,安装过程应简单快捷;
(5)合格标准可设定,以适应区分不同的质量级别;
(6)具备硅片分选功能。一个分选模块有6个分选工位,各工位的分选标准可以自定义,既可以将每个分选工位设置成一种缺陷的几个等级(等级划分由客户自定义,但不可超过6级),也可以将每个分选工位设置成几种不同的缺陷(最多设置6种缺陷)。客户可设置缺陷种类的优先级,若硅片上具有两种或多种缺陷时按照客户定义的优先级进行分选;如果认为6个分选工位不能满足使用要求,则可以购买多台分选模块;
(7)上、下料及检测过程中防止硅片碰伤与损坏,碎片率要求<0.1%;可以进行数据存储、统计、分析、查询及图表绘制等。配备网络接口,可以进行测量设备现场联网统一控制管理。测量结果能够打印输出;
(8)设备具备安全防护功能,实现自动保护。配备急停装置,发生紧急情况时可立即停止设备,防止意外伤害;
(9)采用模块化设计,便于维护和维修。
【解决方案价值对照表】
【应用扩展】
此解决方案经适量修改,也可适用于太阳能电池板、多晶硅、单晶硅检测等。