这一过程完全自动化，每台仪器耗时30秒。图3、4和5显示了未经校正的麦克风以及经过校正滤波后的麦克风相对于理论dB-C响应的误差。有两种方法可用于响应校正。
方法1：作为标准规范，要求响应在20Hz至10kHz之间保持平坦。高于10kHz时，它必须精确遵循IEC61672-2002 I型的两条限制线之间的中心点。这为达到该标准提供了最佳余量（见图4）。
图4：校正dB-C加权因子后的响应误差（方法1）
方法2：作为特殊要求，Convergence Instruments还可以将响应平坦到20kHz（见图5）。
图5：校正dB-C加权因子后的响应误差（方法2）
使用ePTFE膜可以对抗灰尘，这种膜的孔隙率极小，可以阻止任何灰尘甚至液体进入麦克风腔。用于MEMS麦克风的最佳ePTFE膜具有约1db的衰减，且具有轻微的频率依赖性，因此，在将膜放置于麦克风之后进行频率响应校正时，须将其频率依赖性考虑在内。
由于静态或动态超压而导致的MEMS麦克风损坏无法抵消，该漏洞也须引起注意。MEMS麦克风在硅结构中设计有均压孔，但在低频段，均压时间常数较长，这意味着压力的快速变化会损坏麦克风。导致超压的典型情况是将麦克风插入校准器。160dB-SPL的绝对最大压力极限意味着仅为0.02个大气压。通过将麦克风插入校准器就可以达到绝对最大压力极限，因此，必须尽可能缓慢地将麦克风插入校准器（或从校准器中取出），以使麦克风最大限度平衡压力，避免损坏。还需注意的是，MEMS麦克风不是测量高压声脉冲（如爆炸或枪声）的最佳选择。在此类应用中，必须确保测量位置的峰值压力未达到绝对最大压力水平。
结论
由于MEMS麦克风是为消费市场设计和制造的，因此它们能够以低成本获取高品质的信号。MEMS制造技术可确保每个麦克风的参数高度一致，它们在时间和温度上都非常稳定。MEMS麦克风的高频谐振必须被精确抵消，才能获得足够精确的频谱灵敏度，满足I型声级计的要求，这需要先进的信号处理技术。然而，考虑到当今处理器的强大计算能力，这并不会显著增加仪器成本。
鉴于消费电子市场对MEMS麦克风的要求越来越高，MEMS麦克风提供的信号质量正在不断提高。Convergence Instruments预计，在可预见的未来，MEMS麦克风在声音测量方面的应用将持续增长。（作者：麦姆斯咨询殷飞）
