6、检查照相室后盖组件密封衔接处,临时加工一个部件代替组件,开机抽真空V6a阀能正常打开,说明故障在后盖组件上,仔细检查发现组件上电极的绝缘材料老化开裂导致真空泄漏。用密封胶封住开裂部位,干燥后组件重新涂抹密封脂,安装复原,开机抽真空运行恢复正常,故障排除。
小结:照相室是电镜关键部位,真空要求很高,密封不良就会导致无法工作,因照相室的密封部位较多,应遵循先易后难的原则逐步检查,否则有可能会扩大故障范围,特殊部位可加工一些部件临时替代进行密封,以便于故障部位的判断,也能提高检修效率。
故障五(JEM-1200EX)
【故障现象】:
电镜开机时间很长, V3阀无法打开,荧光屏显示PI-3电流值在40μA以上。(注:正常PI-3电流值应该≤40μA,各电镜电流值略有差异,以安装调试电流值为准。)
【故障分析】
因为只有PI-3电流值应该≤40μA时,V3阀才能打开。真空测量元件真空规(皮拉尼规)安装在照相室内,更换样品经常打开照相室,真空规经常接触空气,容易被污染,导致真空检测灵敏度降低,PI-3电流值无法下降到40μA以下,所以V3阀无法打开。
【故障排除】:
开机照相室放气,内部达到正常大气压后关机,从镜筒下方取出真空规,用丙酮进行清洗,干燥后密封处涂抹密封脂,安装复原,开机抽真空观察PI-3电流值情况,电流降到40μA以下,V3阀正常打开,电镜运行恢复正常工作,故障排除。
小结:真空规是检测真空的关键传感器元件,一般很难注意真空规本身是否有问题,PI-3电流值是否≤40μA是个关键点,如果始终大于40μA可考虑真空规是否异常。(注:如果PI-3电流值≤40μA时,V3阀仍无法打开,可微调TR11使IC11-H第13脚输出为0电位,此时可打开V3阀。其他真空规均可通过PI-1、PI-2、PI-3、PI-4电流值来判断是否存在故障。)
故障六(JEM-1200EX)
【故障现象】:
开机抽真空,真空指示PI-1、PI-2数值为250,PI-3数值为90,PI-4数值为110,20分钟后,V2阀打开,V3阀打开,PI-1、PI-2数值为36,PI-3数值为67,10分钟后,PI-1、PI-2数值均为0,V9阀、V10阀反复打开或关闭,V6a阀、V6b阀不能打开,真空表指针达不到绿区,“READY"灯不亮,仪器无法正常运行。
【故障分析】:
将镜筒COL AIR和电子枪GUN AIR放气, PI-1、PI-2数值均为250,完全放气10分钟后,PI-1、PI-2数值下降至0,关闭镜筒COL AIR和电子枪GUN AIR开关,再次抽气,30分钟后,故障再次重现。分析原因电子枪和镜筒的真空示值PI-1、PI-2数值在真空状态下指示有误,导致真空系统抽真空不能正常运行。(图2)
【故障排除】:
在P-I1、PI-2数值为0时,调节电镜真空线路板上的可调电阻。
(1)先调镜筒COLUMN,VR8、VR10顺时针为减少,逆时针为增加,慢慢调到PI-1数值为38停止;
(2)调电子枪GUN,VR6、VR7顺时针为减少,逆时针为增加,慢慢调到PI-2数值为38停止;
(3)此时V6a阀打开,开始抽真空,V6b阀也打开,两个阀交替打开/关闭抽真空,10分钟后,V3阀打开,真空表指针达到绿区,“READY灯亮”,仪器恢复正常运行。
小结:PI-1、PI-2数值不稳定为0,导致电子枪和镜筒抽真空不正常,通过调节PI-1、PI-2数值正常后,故障排除。
2、拍照系统
故障一(JEM-1200EX)
【故障现象】:
电镜正常工作中突然高压断掉,控制台上所有指示灯均熄灭,显示屏也不亮了,但此时可以听见照相室内的机械传动机构,发出不停地机械传动声。
【故障分析】:
照相室有机械传动声,说明总电源并未断掉,有可能是部分电源出故障了。由于故障时正常工作中突然出现的,而且涉及到控制台所有指示灯及显示屏。因此分析故障原因不是某一单元的局部电路导致的,应该出在公共电源部分。
【故障排除】:
经顺着电源电路仔细检查,结果发现+5V供电电源保险丝F19已经熔断了,用同规格保险丝更换后,+5V电源恢复正常,指示灯和显示屏也恢复正常显示,故障排除,电镜恢复正常工作。
故障二(JEM-1200EX)
【故障现象】:
在拍摄电镜照片时,当按下“PHOTO”键后,底片不能停止在荧光屏下面,而是直接由分配盒进入接收盒,即出现跳片现象。
【故障分析】:
该故障有可能属于机械故障,也有可能属于电路故障,可以依次进行检查维修。
【故障排除】:
先检查机械部分,照相系统的机械出送部分由电机和齿轮转动机构组成,从外观上看机械传动系统无异常。电机的启动和停止是由照相室里微动开关K1、K2控制,若K1、K2失控将导致出送系统故障,打开照相室取下照相机,检查K1、K2,发现K1失灵,K2正常,K1更换一个同规格的微动开关,开机照相功能恢复正常,不再有跳片出现,故障排除。
故障三(JEM-1200EX)
【故障现象】:
底片上图像信息显示正常,但底片底部的数字信息显示空白。