前言
日本电子JEM-1200EX/2000EX透射电子显微镜是我国八十年代较早引进的先进的大型精密仪器，对各种固体材料的微观形貌和结构进行观察和分析，对固体材料的元素组成进行定性和定量分析。广泛应用于材料科学、生物医学、地质矿产等方面，为我国的大专院校、科研机构、科学院所、工矿企业的科学研究和产品生产做出了不小的贡献。
JEM-1200EX透射电镜（图1）是比较典型的大型精密仪器产品，该产品体积较大，结构繁琐，电路复杂，布局零散，辅助设备多，在使用过程中总体性能还是相当稳定的，但是由于工作年限较长，仪器发生过一些故障，下面现将出现过的一些故障维修案例进行精炼汇编，介绍给版友们及同行参考。JEM-2000EX型电镜与JEM-1200EX型电镜差别不大，维修方法大同小异，可相互参考。
图1 JEM-1200EX透射电子显微镜主机外观图
1、真空系统
故障一（JEM-1200EX）
【故障现象】：
正常开机，只有V1阀～V3阀打开，其他阀均处于关闭状态。一般情况下，开机30～40分钟左右，真空图标显示V1阀～V6阀打开，V12阀、V13阀打开，此时其他阀未打开，说明仪器不正常。再次开机偶尔可听见镜体内有异常声音，屏幕提示PI-1：253，PI-2：187，PI-3：232，PI-4：126，此时V2阀、V3阀处于关闭状态。检查空压机，压力为3.65kg/cm2偏低。
【故障分析】：
分析气阀压力不足，导致气阀开关不稳定。
【故障排除】：
打开空压机，压力加至4.8kg/cm2，再次开机，抽真空正常，各阀按仪器顺序正常打开和关闭，仪器恢复正常运行。
故障二（JEM-1200EX）
【故障现象】：
打开电源启动仪器，机械泵旋转一周，然后迅速停止。
【故障分析】：
从故障现象分析，机械泵能旋转一周，说明启动电源没有问题，机械泵旋转要靠启动感应传感器来维持旋转，问题可能在传感器及控制系统，检查真空系统未发现异常。
【故障排除】：
用备件传感器更换，开机故障不变，因此重点放在检查控制系统，打开控制系统检查发现内部很潮湿，部分机械部件已生锈，问题根源应该就在于此。取下生锈部件进行除锈清洗，烘干并加一些润滑脂防锈，清理控制器内部潮湿区域，安装复原修理部件，通电开机机械泵恢复正常旋转，故障排除。
小结：分析原因机械部件生锈导致机械动作受阻，使机械泵启动困难被憋死，传感器无感应信号最后保护电路动作，切断工作电源。
故障三（JEM-1200EX）
【故障现象】：
开机抽真空机械泵（RP）运行正常，30秒后V12阀打开，随即几秒钟后V12阀又关闭，机械泵停止保护状态，5分钟后仪器自动关机，无法工作。
【故障分析】：
仪器自动关机，说明某处异常进入保护状态，循环水系统，空压机系统，真空抽取系统都是重点检查对象。
【故障排除】：
检查循环水水温、水流量正常。
检查空压机运行正常，压力指示正常。
检查负责低真空的机械泵（RP）运行正常。
检查负责高真空的扩散泵（DP）情况，打开扩散泵发现加热盘（炉）是冷的，用万用表测量内部加热丝已烧断（正常为65欧左右），说明加热盘已损坏。更换备用加热盘，安装复原扩散泵，检查各部件及接线无误后，重新开机经过40分钟运行，各真空参数恢复正常，各阀门也按顺序正常打开，仪器恢复正常工作。
小结：扩散泵加热盘（炉）连续工作时间较长，加热丝容易烧断，需要经常检查和维护，损坏后及时更换。
故障四（JEM-1200EX）
【故障现象】：
开机前面抽真空一切正常，当进行到打开V6a阀抽电照相真空时，结果真空度下降，V6a阀无法打开，自动回到前一级抽真空，反复循环真空度始终上不去。
【故障分析】：
由于前面抽真空没有发现问题，在进行照相室抽真空时，真空度下降，分析照相室有可能存在泄漏。进行真空度泄漏检测，结果照相室泄漏最快，由此判断照相室确实存在泄漏。
【故障排除】：
照相室结构复杂，密封口较多，查找漏点较为困难。因此，根据先易后难的原则逐步检查和排除故障部位。
1、清洗照相时门边框及密封条，重新涂抹密封脂，开机故障不变。
2、清洗前端大观察窗和两侧小观察窗及密封条，重新涂抹密封脂，开机故障不变。
3、清洗照相室底部扫描附件，重新涂抹密封脂，故障不变。
4、检查小荧光屏扳手组件密封情况，组件结构复杂，不好随意拆卸检查，临时加工一个部件代替组件，开机故障不变。说明组件无泄漏问题，换回组件，重新涂抹密封脂。
5、检查V3阀、V9阀真空泄漏率，工作正常未发现泄漏，
