分析高压暗电流过流保护，故障可能出现在电子枪室、高压电缆及高压箱的部件。重点检查高压部件及相关系统部件。
【故障排除】：
检查电子枪室及高压箱氟利昂气体，气压正常。断开高压电缆与高压箱的连接，通电发现暗电流仍然很高，判断高压箱存在故障。先检查高压箱外围电路，HT OSC PB高压发生器电路板，HT BLC PB高压保护电路板，HT STAB PB高压定值控制电路，由于有高压存在并能产生自动断电保护动作，说明高压发生器电路板和高压保护电路板能正常工作，出故障概率较小。估计故障多半在高压定值控制电路板上，拔下HT OSC PB电路板和HT BLC PB电路板插头，测量HT STAB PB测试点TM4电压75V异常（正常是120KV时为50.5V），调节VR2电压无变化，说明有元件损坏。
关机沿TM4电路检查，发现TR3有问题，焊下TR3测量b-c极已经开路，确认TR3已坏，更换同型号三极管，开机测量TM4电压恢复正常，调节VR2电压有变化，TM4电路已修复。停机插回HT OSC PB电路板和HT BLC PB电路板插头，清洗电缆接头烘干重新安装好，开机试验暗电流正常，接通灯丝电源，光束良好，说明高压电缆和电子枪室完好，故障排除，仪器恢复正常运行。
故障六（JEM-1200EX）
【故障现象】：
电子束流不稳定，在80KV电子束流增加到73μA（暗电流为46μA），工作两小时后束流下降至58μA（暗电流仍为46μA），同时亮度变暗。
【故障分析】：
该故障涉及控制单元及电路较多，分析由于电子束工作不稳定，重点在电源、高压及灯丝电路单元。
【故障排除】：
拔出高压电缆与镜筒连接一端，将1欧电阻模拟灯丝等效电阻与串接电流表到高压电缆末端组成回路，（注：此时LEN POWER SUPPLY ON，按下HT键，HT显示为00，顺时针调节FILAMENT旋钮到底。）刚接通时电流表指示为3.317A（正常为3.4A～4A）偏低，5分钟后上升至3.36A，此后慢慢下降，30分钟后降至3.298A。说明灯丝电流偏低且不稳定，仔细检查发现HT单元高压调整管、功率放大管TR1～TR5和灯丝单元供电三极管TR8、TR9管都发热较高，检查HT OSC PB的高频大功率三极管TR10、TR11也发热严重。由于检查元件较多，采用替换法逐个替换试验，当更换高频大功率三极管TR10、TR11后，电子束流恢复稳定，故障排除，仪器恢复正常工作。
小结：故障原因是功率三极管热稳定性不佳，导致电子束流不稳定。 在不确定某个元件出故障时，可采用替换法试验，逐步排除故障元件，操作虽然麻烦一些，但这种维修方法是可行的。
故障七（JEM-1200EX）
【故障现象】：
电镜灯丝不加热。表现为高压正常，调节FILAMENT旋钮束流显示不变。
【故障分析】：
灯丝不加热，分析重点在灯丝电路系统，灯丝电路由灯丝变压器，灯丝供电电源，电源振荡器，功率放大器，电源过滤器组成。
【故障排除】：
检查灯丝高压电缆未发现接触不良，旋转FILAMENT旋钮时，测HT OCS PB的PS端电压随之改变正常，测高频振荡器输出有矩形（1/2占空比）振荡脉冲正常，检查发现功率放大器三极管集电极散热器固定螺丝松动了，继续检查发现高压箱内二级滤波电阻及电容固定螺丝也松动了，将所有松动螺丝拧紧，开机调节FILAMENT旋钮束电流随之变化，故障排除仪器恢复正常工作。
小结：由于仪器长期工作内部发热受热胀冷缩影响，导致固定螺丝松动造成接触不良，仪器无法正常工作。所以说仪器散热是个值得思考的问题。
故障八（JEM-2000EX）
【故障现象】：
电镜供电电压偏高，稳压电源输出无法调节，处于失控状态。
【故障分析】：
分析电镜工作电源不稳，重点在交流稳压器供电系统。
【故障排除】：
检测外部供电电源220VAC正常，测交流稳压器输出电压250VAC，偏高而且不可调，说明故障在稳压器内部，打开稳压器发现伺服电机发热，转动机构被卡死，拆掉电机检查发现电机有一端油封轴承磨坏，更换新轴承后电机修复，独立通电检查电机运行良好。装回电机通电发现只能朝电压上升方向转动，电压下降方向转动机构打滑空转。
拆下整套转动机构，该机构为四级减速三齿轮构成，三个齿轮由两块铜夹板固定，检查支撑三个齿轮转动轴的三对孔变形，齿轮咬合产生松动，当电压上升时齿轮轴心位置正常，电压下降时齿轮轴心产生偏心，导致只能上升不能下降故障。
因整套机构更新价格昂贵不合算，决定自行修理，用高分子材料和高级金属固化胶将三个变形孔填补，待干燥凝固后重新打孔，再安装好固定铜夹板，复原转动机构，通电稳压器输出电压正常且可调，将电压调至220VAC，输出电压稳定不变，到此稳压电源故障排除恢复正常工作。
小结：电镜安装时间较长，电网电压不稳定，稳压器长期频繁运行，机械磨损严重，导致失控故障。
故障九（JEM-2000EX）
【故障现象】：
电镜工作时经常出现电子束闪动，在120KV下也时常出现闪动，暗电流68μA偏大，随着电压升高至160KV时闪动加剧，高压跳闸保护停机。
【故障分析】：
分析故障可能有：电子枪文氏帽和阳极存在污染放电，高压箱内部某部件放电，灯丝电路及加速管电路故障等。
【故障排除】：
