电镜消像散电路（图5）大致可分为输入电路，控制板接口电路，计算机控制电路，计算机接口电路，数字锁存及D/A转换电路，比较自检电路，消像散控制电路，消像散驱动电路及消像散线圈等组成，其消像散线圈电流的变化是通过调节面板上的DFE X Y来控制的。重点在消像散控制电路系统。
【故障排除】：
消像散电路控制电路主要是控制消像散放大电路的输入通道接受来自计算机的各种控制信号，并执行这些信号以达到控制消像散线圈的目的。消像散驱动电路主要是由差分放大电路组成，信号被功率放大直接驱动消像散线圈。先在120KV加速电压条件下，检测消像散器及合轴用的各电源电压，测TP10、TP12电压为+5V，TP11、TP13为-5V。
再对数据锁存及D/A转换电路进行检测，旋转控制面板上的SHIFT X顺时针方向到底，然后再逆时针方向到底，分别对集成电路IC01A、IC02A、IC03A、IC7及DEF LENS ITF PB的IC3J（7407六缓冲器/驱动器）测量，当检测到IC03J-8脚电位为0，9脚电位也为0，IC03J有问题，更换一块7407集成块，测量IC03J-8脚、9脚电位，调节OBJ STIG1键或OBJ STIG2键，变化范围为X：+2.09V～-1.59V，Y：+1.84V～-1.85V，物镜消像散电路恢复正常，故障排除。
图6 JEM-2000EX电镜消像散电路框图
故障八（JEM-2000EX）
【故障现象】：
开机2～3秒内自动停机（图6）。在2～3秒内V15阀放气，显示机械泵已工作，V16阀打开，操作面板各键指示灯由暗到亮闪烁一下，然后恢复到常态。
【故障分析】：
出现开机2～3秒内自动停机的原因有如下几个可能。
① 机械泵供电故障不能启动，引发停机。
② 冷却水压力不足，压力继电器不吸合，S1（RP）、S2（DP）触点开路，造成停机。
③ 真空测量皮拉尼规插座松动接触不良，导致停机。
【故障排除】：
① 在PAGE-3上显示V15阀亮，检查PS UNIT F6指示灯亮，确认机械泵供电电路保险丝F6熔断，机械泵不运转导致主机停机，更换保险丝主机恢复正常。
② 测量真空系统电路板VAC SYSTEM PB插座CN12的N（RP）和A（DP）由电压0V变为5V，说明冷却水压力不足，检查进水压力偏低，导致停机。重新调节进水压力，停机故障排除。
③ 电镜有四个皮拉尼规，其中任意一个插座接触不良都有可能导致停机，检测真空系统电路板VAC SYSTEM PB插座CN12对应的16脚（PI-2）、18脚（PI-3）、19脚（PI-4）正常均为0V，测17脚（PI-1）为5V不正常，重新插好对应PI-1真空规插座，测17脚为0V恢复正常，PI-1恢复数字显示，停机故障排除。
故障九（JEM-2000EX）
【故障现象】：
开机30秒自动停机。
【故障分析】：
机械泵，冷却水压力，皮拉尼规均正常，空压机压力是否≥3.2kg，程序进入自检异常和循环等待，无法继续进行而停机。保护性或意外因素导致停机。
【故障排除】：
① 检测机械泵（RP）泵单元开关S1无输出，检查发现机械泵空转，不能抽气，结果是皮带常年运行老化了，更换一新皮带，机械泵恢复正常运行，30秒钟停机故障排除。
② 检测VAC SYSTEM PB插座CN12的V脚（DP1）发现为高电平，扩散泵没有工作，检查DP1供电电路保险丝F8熔断，更换保险丝30秒停机故障排除。
图7 JEM-2000EX电镜开机真空系统工作流程图
故障十（JEM-2000EX）
【故障现象】：
开机由工作状态进入停机。
【故障分析】：
电镜在使用中突发性停机，大致有以下几个原因。
① 人为因素造成停机。
② 市电掉电引起停电停机。
③ 冷却循环水系统故障引起停机。
【故障排除】：
① 人为误操作，仪器在使用过程中操作者不慎，未按操作顺序进行关机，直接关闭稳压器电源或总电源开关。另外也有可能误碰倒了钥匙开关，由NO转到了OFF位置，造成人为关机。
② 市电停电引起的整机停机，整机停机后，应及时将各调节旋钮和相应开关恢复到初始状态，停机休息一段时间后。供电恢复电后，在各外围设备无异常情况下，可以重新开机恢复正常运行。
③ 瞬时闪停造成的停机，瞬时闪停表现为照明灯瞬时闪烁，高压丢失，束电流归零，各别阀门动作紊乱，V15阀自动打开放气，机械泵停止运转等，严重时对仪器的某些部件会造成损坏。对于发生整机停机可以重新开机即可。对于部分停机（死机状态）如计算机软件程序中断停机，可重启计算机执行完程序后，进行二次开机，在开机过程中要随时注意仪器运行状态，如有异常及时检查并维修仪器。
