近日，中国科学院沈阳自动化研究所在工业零件测量领域取得新进展，提出了一种适用于工业零件表面反射率变化较大情况的光学低相干测量方法，实现了对镜面、类镜面、漫反射面等多种反射特性的工业零件关键参数的高精度测量。该研究成果于近期在线发表在国际仪器测量领域期刊IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT。
适用于工业零件表面反射率变化较大情况的光学低相干测量方法示意图
工业零件尺寸和关键参数的高精度测量是保证制造精度和装配可靠性的关键。低相干测量方法是一种利用光学干涉现象的测量方法，具有精度高、测量范围大、无损等优点，在工业测量领域显示出巨大的应用潜力。然而，目前工业上的低相干性测量方法大多假设零件表面反射率恒定或变异性很小，导致这些方法适应性差，适用范围有限。
沈阳自动化所工艺装备与智能机器人研究室科研团队提出了一种针对表面反射率变化较大的零件关键参数测量的工业光学低相干测量方法。团队建立了一个工业低相干模型，从理论上证明了其适应表面反射率变化较大的零件测量的可行性；基于提出的测量模型，设计了光路，搭建了工业低相干系统，通过实验验证了所提方法的有效性。实验结果表明，该方法适用于包括漫反射、镜面反射和类镜面反射条件下的工业零件测量。
该研究成果得到了国家自然科学基金的支持。
