最后,半导体行业对于厂商服务水平的要求也远高于其它行业,例如必须24小时“on call”随叫随到,必要时需要工程师及时驻场;仪器出现故障必须在48小时之内修好,或者提供备用机服务;仪器安装时需要提供全部待检测化学品的分析方法,帮助用户提前建好分析方法;提供仪器与其它自动化进样设施的连接方法,包括硅片前处理装置、化学品在线进样装置等。
上述半导体行业对分析仪器及厂商的极高要求,最终体现在对仪器生产企业的生产技术、应用水平、售后响应速度等整体实力的要求上。而我国科学仪器行业整体技术实力与国外厂商相比还有明显差距,创新能力偏弱,这就造成了进口品牌在半导体行业独占鳌头的局面。
3、莱伯泰科潜心打造国产ICP-MS第一品牌,努力破局
如何破局?如何打破进口品牌在半导体行业的垄断?莱伯泰科一直在行动,在努力发展自主创新,保持埋头苦干的同时,也密切关注着整个行业的动向,时刻保持着抬头看路的清醒。从2019年开始,莱伯泰科便着手组建了一支优秀的ICP-MS研发团队,投入大量资金和人员,努力以自有技术攻破壁垒,以打造国产ICP-MS第一品牌为目标,在仪器的智能化、系统化、自动化方面创新突破以实现差异化的发展。
不论是技术储备还是对ICP-MS的深刻理解,莱伯泰科都有着得天独厚的优势。莱伯泰科董事长胡克博士师从ICP-MS发明人Houk教授,对于ICP-MS有十五年的深入研究,并且取得了很多成绩,例如他在全球率先采用了偏转型的离子透镜,抛弃了当年的挡光板,能更加有效地阻挡光子的进入,目前几乎所有的商用ICP-MS都采用偏转离子透镜的方法;其次,将进样锥口的孔径增大至1.1mm同时设计分级真空提高抽速,不仅使更多的离子进入质谱同时还降低了干扰,提高了检测灵敏度和适用性;最后一点,胡博士还设计了一种接口处加电压的方法,让进入离子本身具有更高动能,如今市场上的高灵敏质谱就采用这一技术。这一系列的开创性工作,为许多仪器公司开发质谱的技术提供了依据和参考。
在这次ICP-MS的研发过程中,莱伯泰科对半导体行业进行了细致入微的研究和调查,并与多家国内著名半导体企业开展技术合作,终于,在2021年5月18日,莱伯泰科正式推出了首台LabMS 3000 电感耦合等离子体质谱仪。
LabMS 3000在整机设计、进样系统材料、锥接口、锥材料以及碰撞反应池、冷热焰模式等方面都做出了独特的设计和改进。除了通过SEMI S2认证外,也能满足大部分Wafer Fab企业的高安全要求。
LabMS 3000采用了高稳定性和高耐受性的质谱硬件,可以提供良好的基体耐受性,带来了新一代的高性能、长寿命检测器,采用脉冲、模拟双模式同时型电子倍增器,可在一次运行中实现常量元素(数百或数千 ppm)与痕量元素(ppt 或亚 ppt 级)的直接分析,简化分析方法和分析时间。LabMS 3000还具有三种高性能去除质谱干扰功能,包括质量校正方程、冷焰模式和第四代碰撞池技术,可消除棘手的多原子和双电荷离子干扰,避免降低数据质量,同时可减少高成本的样品重新测量需求。
LabMS 3000配备的HiMass 软件,是软件团队专为中国用户打造的软件平台,拥有良好的逻辑性和便捷性。HiMass采用直观的任务导航栏和工具栏,把智能与流程化相结合引进到仪器控制与操作流程上,更符合中国人操作习惯,并可以确保高效、准确的运行与分析结果,支持中英文语言实时切换、数据上传、接入实验室管理系统和定制报告格式模版。HiMass软件,可以自定义质谱运行日程安排,自动化完成从等离子体点火、自动启动性能检查和优化、自动跳转至方法和序列,完成数据采集和自动生成报告,适用于实验室的各种分析需求。
除了上述LabMS 3000各种软硬件的优势之外,莱伯泰科本身在应用方法的开发和售后服务上,也有自己独特的优势。在组建研发团队的同时也打造了一只技术过硬的应用团队,针对行业特点开发不同样品检测方法的同时,凭借已有的全自动前处理技术,定制化的开发了全自动进样系统。莱伯泰科历经近20年的发展,售后服务网络更是覆盖了全国,可以提供高质量的售后服务,以满足半导体行业的特殊需求。
莱伯泰科LabMS 3000上市之初,首发行业选择的是半导体行业,很多人表示不理解,对于国产仪器进军半导体行业不看好。但是,胡克博士认为,困难的事情总得有人去做,在这个看实力的年代,需要的是破局的能力和决心,而不是原地踏步、固步自封。莱伯泰科有实力也有决心和信心,做就一定要努力做到最好,飞必冲天,鸣必惊人。“只要我们心存理想,脚踏实地,潜下心来打造国产ICP-MS第一品牌,赶上进口高端分析仪器不会只是一个遥远的梦。”胡克博士说道。