随着贸易摩擦日益加重,由此引发的中美科技之争给世界分工带来了巨大冲击。宏观来看,“十四五”规划文件牵引、地方政策支持、国产采购倾斜、支持国产仪器发展已经成为政府、市场以及公众的共识。巨浪之下,国产仪器如何发展?如何打破垄断、解决“卡脖子”难题?
近两年,北京市“专精特新”企业北京莱伯泰科仪器股份有限公司(股票代码:688056.SH,以下简称“莱伯泰科”)的发展驶入快车道,公司于2020年成功登陆科创板,让更多行业外的人士知道了什么是实验分析仪器行业;紧接着又在2021年发布质谱新品,强势进军高端分析仪器领域,以发展高端仪器产业、助力中国制造腾飞为己任,锐意突破,不断进行产品革新。我们知道,发展国产高端分析仪器的道路必定不易,莱伯泰科创始人胡克博士是如何看待并规划的呢?
1、高端产业的发展,离不开尖端分析仪器
分析仪器,被称作科学家的“眼睛”,也被比喻为高端制造业皇冠上的明珠,是制造业发展中的咽喉行业。仪器仪表行业单从生产规模来讲,算不上大行业,但是它的重要性和战略性不能简单以生产规模来衡量。中国光学和仪器仪表及计量科教事业的奠基人之一、两院院士王大珩曾经指出,仪器仪表是认识未知世界的科学工具,也是控制生产过程的工具,是工业生产的“倍增器”。在制造业中,想要生产出合格的产品,从原料控制到成品质量控制,都需要仪器仪表进行测量。在高端产业中,要生产出尖端的产品,更是离不开最尖端的分析仪器,并且产业越高端,对于分析仪器的要求就会越严格,近乎苛刻。
近几年来,随着我国产业升级速度的加快,各行各业对于高端分析仪器的需求亦不断增长。我们仅以理化分析仪器及装备(包含质谱)的进口额为例,从2017年到2021年,我国每年的进口额都在600亿元左右,而且逐年稳步增长,即便是疫情期间也丝毫未受影响。
我国仪器仪表发展规模虽然不断扩大,但是一直存在基础研究薄弱、产品可靠性和稳定性低、以中低端产品为主等问题,高端仪器仪表、核心零部件等长期依赖进口。我国仪器仪表产品一直处于进出口贸易逆差的状态,逆差每年都在150亿美元以上,是机械制造业中逆差最大的行业之一。
2、国产仪器在半导体行业举步维艰
目前我国各行业中使用的质谱类仪器,几乎全部依赖进口。尤其是自中美贸易战以来全国上下共同关注的半导体行业,检测中必须具备的电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS几乎百分之百来自于进口品牌。虽然国家在多个层面支持国内半导体行业的自主创新发展,然而,半导体行业中所用ICP-MS全面依赖进口依然是个不争的事实。
在半导体行业中,ICP-MS被广泛应用于高纯材料、高纯化学品以及生产过程中杂质含量的监控。从应用角度来讲,半导体行业需要同时检测的元素范围非常广。因为无机元素杂质会对集成电路造成危害,比如碱金属与碱土金属(Li、Na、K、Ca、Mg、Ba等)污染会造成元器件漏电,造成低击穿;过渡金属与重金属(Fe、Cr、Ni、Cu、Au、Mn、Pb)污染会增大工作时的暗电流进而缩短元器件寿命;渗透元素(S、P、Si、As、Sb、B、Al等)污染具有扩散作用,会影响电子和空穴的数量。除了需同时检测轻、中、重元素外,随着集成电路对线宽的要求越来越严苛,对湿电子化学品的要求也越来越高,对有害粒子含量要求从10-6(ppm)发展到了10-9(ppb)甚至10-12(ppt),因此半导体行业需要检测仪器具有极高的灵敏度。
由于行业具有的特殊性,半导体行业对ICP-MS仪器本身也具有极高的准入门槛要求,从仪器性能到仪器的安全可靠性,都有极为严格的规定。
首先,在仪器性能方面,ICP-MS必须做到从Li到Pb,从轻元素、中元素到重元素的快速检测;能到达ppt级别的检出能力;针对高Si基体样品检测时的长期稳定性和重现性,每周7*24小时不间断运行;特殊情况下需要仪器冷焰、热焰快速稳定切换,高通量多元素准确检出;对整机及内部部件的洁净度、耐腐蚀性要求极高等等。
其次,半导体行业对ICP-MS的安全可靠性方面也有着特别的要求。ICP-MS首先必须通过半导体工业的全球执行联盟(SEMI)的SEMI S2认证,这是一套适用于半导体及平面显示器制造设备的环境、安全及健康的效能的标准,半导体业者为了降低机械危害的风险,在采购设备系统时,将 SEMI S2 安规认证列为必备的规格要求。另一方面,半导体制造企业在水、电、气、化学溶剂、真空射频、微波、射线和高能粒子等方面也都提出了更高的要求。