Omnitron的3D MEMS设计方案基于简单而稳健的晶圆制造工艺
精度和可靠性也是Omnitron技术的关键。Aguilar说：“如果我们让扫描镜指向三度角，那它就真的可以精确指向三度角。我们在平面上构建了隔离层，使我们能够将驱动能量与传感机制分离。这意味着没有驱动信号耦合到传感信号中，从而避免影响数据。”他说，这些都已经通过制造得到了验证。
实现可靠校准
Omnitron的3D MEMS技术的另一个特点是能够确保可靠的校准。这是由其选择的驱动方案实现的。Aguilar说：“我们构建的马达执行器采用静电驱动原理。”
Aguilar解释称，MEMS驱动通常有三种方法，包括静电、电磁或压电方案。“我们采用静电方案主要是为了在温度范围内保持线性，静电驱动系统的精妙在于它们可以非常线性的随温度膨胀和收缩，具有确定性，因而易于校准。”
Aguilar说，电磁或压电等其他替代技术的问题是，对温度有滞后响应。这意味着器件的温度曲线在温度上升和温度下降时是不同的。这会在性能中产生严重误差，从而影响校准。
面向下一代设计的新型MEMS拓扑
的确，如今嵌入式系统的许多创新都源自在更快微处理器和MCU上运行的软件功能。Omnitron的创新MEMS拓扑告诉我们，硬件的创新仍然可以带来重大的影响。
Aguilar说：“尽管软件是个好东西，但如果没有硬件的突破性创新，我们将无法实现想象中的未来。因此，我们必须回到第一性原理思维，以开发这种有望变革传感器行业的全新MEMS工艺。”
