8月24日,央视《新闻联播》报道了松山湖材料实验室国产台阶仪等产品的情况,该产品已由安徽泽攸科技有限公司(以下简称“泽攸科技”)完成产业化并量产出货,填补了国内在该领域的空白。
据了解,泽攸科技JS系列高精度台阶仪是公司自主研发的国产台阶仪。目前为国内首创技术,突破核心技术-大行程超精密平面扫描-70 mm,优于20 nm/2 mm;大带宽大行程纳米微动台-80 μm,10 kHz;超微压力恒定控制,0.5 mN-15 mN,打破了国外垄断的局面,是半导体国产化进程中不可或缺的一环。
泽攸科技还拥有包括PicoFemto系列原位TEM/SEM测量系统、ZEM系列台式扫描电镜、纳米位移台等在类的多个产品线,在国内外均获得了高度关注。未来,公司将继续加大研发投入,努力研制出更多世界一流的精密科学仪器,为我国科技进步和经济发展做出更大贡献。