3月11日，广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（以下简称“增芯项目”）在广州增城开发区举行光刻机搬入活动，这标志着增芯项目顺利进入调试投产准备阶段。据了解，该项目预计今年6月份将完成首批设备安装，今年12月底完成第一个有良率的产品下线。
记者从现场获悉，增芯项目一期计划投资370亿元，自2022年底动工起，仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设，实现了“开工一年装机”，封顶至今仅5个多月便迎来了生产线最核心的装备——光刻机。“这次大家看到光刻机进厂，说明离我们正式通线投产就不远了。”广州增芯科技有限公司总经理张亮说。
“光刻机是晶圆制造当中最关键的核心装备，我们计划引入多台光刻机，资金投入占到整个工厂建设的25%。”张亮介绍，光刻作为集成电路制造的关键工艺，利用光化学反应原理把实现制备在掩模版上的图形转印到晶圆表面，后续经过蚀刻在晶圆上形成图形，“这台光刻机的速率是非常快的，对我们整个的生产效率提升和稳定起到了非常关键的作用”。
增芯项目接下来还有哪些关键节点？“在今年通线投产的过程中，我们还将经历产品良率的提升、产能的爬坡等关键步骤，未来希望能在增城打造月产12万片的产能，更好地辐射整个粤港澳大湾区集成电路芯片的需求。”张亮强调，目前国产装备在增芯一期项目里的使用占比超过了35%，希望在二期投产的时候能达到一半以上。
值得注意的是，在广东打造国家集成电路产业发展“第三极”过程中，增城区正加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系，在培育发展集成电路产业方面，已相继布局了增芯、越海等一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目，覆盖集成电路“四梁八柱”中制造、封测、装备、材料和平台等关键环节。
文、图 ｜ 记者 许张超
