该系统由刻蚀反应腔和样品传递腔构成，两个腔室分别独立获得真空和进行检测。样品传递腔与真空主管道相连接，并具有符合要求的取放样品及传递的功能。刻蚀反应腔中进行反应刻蚀，配置不少于6个气路，室温~60℃连续可调的加热刻蚀载样台，温度均匀性±2℃
200万
1
1/f噪声测试系统，矢量网络分析仪、源扩展模块
投标人可投报任意包件
318万
1
X射线衍射仪
本项目不接受联合体投标
98万
1
夜视环境与红外紫外数码光源系统光源测量与校准系统
关键词:仪器采购 2134万 中科院 进口仪器 浏览量：830
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