研究目标：针对环境监测、食品安全和临床诊断等行业小分子标志物高准确高灵敏定量检测需求，突破高效率高稳定离子化、离子传输和多级串联质量分析等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件全部国产化的四极杆—离子阱液相色谱质谱联用仪，开发相关软件和数据库。实现复杂基质样品中目标物质的准确定量分析。开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标：质量范围优于20Th-2000Th；质量分辨率于3000；扫描速度≥20000amu/sec；串联分析级数（MSn）≥3；三级质谱检测信噪比≥500:1（50fg 利血平样品），检测限≤5fg；峰面积重复性≤3%（1pg 利血平连续进样10 次）；液相色谱最大流速≥2mL/min。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度达到8 级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.3 低温强磁场综合物性测量仪
研究目标：针对物理、化学、材料科学等领域对微纳器件和新材料电学、磁学、热学等物性测量的需求，突破免液氦低温恒温控制、高稳定度超导强磁场、全自动多物性测量系统集成等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件全部国产化的低温强磁场综合物性测量仪，开发相关软件和数据库，实现对微纳器件和材料电学、热学、磁学物性的综合测量分析。开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标：温度控制系统：1.9K~400K 范围连续控温，温度稳定性≤0.2%（T≤10K）、0.02%（T>10K）；磁场控制系统：磁场强度范围±14T，磁场中心处5cm 范围内均匀度达到0.1%；电物性测量：直流电阻测量范围1×10-8Ω~5×109Ω，测量精度0.1%（R≤200kΩ）、0.2%（R>200kΩ）；热物性测量：比热测量灵敏度≤10nJ/K@2K，热电系数测量精度优于5%，热导率测量精度优于5%；磁物性测量：直流磁化强度测量灵敏度≤2×10-5emu，交流磁化率测量灵敏度<2×10-8emu@10kHz。项目完成时产品应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到8 级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.4 聚焦离子束/电子束双束显微镜
研究目标：针对集成电路芯片设计修正和失效分析、样品3D重构、透射电镜样品制备等微纳加工技术需求，突破高分辨率聚焦离子束、高分辨率场发射电子束获得等核心技术，开发具有自主知识产权、性能稳定可靠、核心部件全部国产化的聚焦离子束/电子束双束显微镜，开发相关软件，开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标： 液态镓离子源聚焦离子束扫描分辨率≤5nm@30kV（双束重合点），能量≥30kV，束流≥65nA；聚焦电子束分辨率≤1.2nm@1kV（双束重合点），能量≥30kV，束流≥50nA；最大样品直径≥150mm，Z 向高度调节范围≥40mm；具备聚焦离子束材料刻蚀、沉积和透射电镜样品制备、3D 结构重构能力；具备聚焦离子束加工过程中扫描电子束实时观察能力。项目完成时产品应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥500 小时，技术就绪度达到8 级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
1.5 高性能流式细胞分选仪
研究目标：针对生物和医学等行业血液和细胞分析需求，突破单细胞多色荧光高效分光技术、百万量级细胞数据处理技术、微流控细胞分选技术等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件全部国产化的高性能流式细胞分选仪，开发相关软件和数据库，实现对细胞、荧光微球等生物颗粒的分析、计数与分选。开展工程化开发、应用示范和产业化推广。
考核指标：激光器波长数≥4；激发荧光波长数≥30；荧光检测灵敏度：FITC≤80MESF，PE≤30MESF；细胞检测和分析速度≥70000 细胞/秒；分选纯度≥98%；颗粒检测大小0.2μm~50μm。项目完成时产品应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到8 级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。
