eLichens的超低功率二氧化碳传感器（来源：eLinchens）
ELichen还开发了设计HVAC通风系统所需的技术解决方案。
在通风开发中，一个关键是要考虑一种系统，该系统不仅可以减少Co2的含量，而且不会降低Co2的浓度，以至于对用户造成不好的影响，毕竟室内空气质量是影响智力和整体健康的重要因素。为了测量室内空气质量并将此信息提供给通风系统，eLichens开发了传感器来测量多种类型的室内污染物：二氧化碳（CO2），挥发性有机化合物（VOC）和颗粒物（PM2.5和PM10）。
ELichens的技术可以类似地应用于智能城市，燃气泄漏监测，智能家居和客舱汽车。
6、Innoluce BV
Inoluce是ToF LiDAR微型激光扫描模块的开发商，于2016年10月被英飞凌收购。
它知名的产品是由硅制成的获得专利的1D MEMS反射镜。据说该技术可自由更改反射镜直径和频率，同时保持光学性能。这使谐振式1D MEMS反射镜技术能够提供不同的功能和广泛的应用范围。
Innoluce激光扫描模块（可根据客户特定配置进行调整）包含带有ASIC的MEMS反射镜，用于控制和驱动MEMS.（来源：Innoluce）
7、Innoviz
Innoviz是一家由以色列国防军技术部门前成员于2016年在以色列成立的初创公司。Innoviz专注于“以大众市场采用所需的成本和尺寸”为自动驾驶汽车开发激光雷达传感器，其产品基于固态设计。
该初创企业与众多战略合作伙伴和顶级投资者建立了联系。他们包括Aptiv（德尔福汽车公司），Magna International,三星，韩国软银风险投资公司，360 Capital Partners,Glory Ventures和Naver.
Innoviz的总资金已达到2亿多美元。最新的融资消息是2019年，Innoviz获得1.32亿美元C轮融资。本轮融资确保了Innoviz的生产、制造和研发的顺利推进。2021年其固态激光雷达也将能够按时交付。
8、MEMS Drive
MEMS Drive成立于2014年，是基于MEMS的执行器设备的开发商。其目标是设计用于移动设备的光学图像稳定（OIS）技术。
这家初创公司开发了用于智能手机中的首个5轴OIS（光学图像稳定）技术，通过移动传感器，MEMS OIS可以针对摄像机的运动提供快速而准确的图像稳定。
MEMS Drive的光学图像稳定技术使成像器可以移动，而无需移动镜筒进行调整。它的优点是无论使用哪种镜筒或成像器格式，图像都将稳定下来，并且没有镜筒倾斜会降低图像质量。（来源：MEMS驱动器）
9、Menlo Micro
Menlo Micro成立于2016年，是一家从通用电气（General Electric,GE）独立出来的公司，致力于为磁共振成像（MRI）和其它医疗设备开发可靠、安全的功率开关。
Menlo Micro的6通道单刀单掷（SPST）机械开关（来源：Menlo Micro）
Menlo Micro注意到传统的机电开关技术几乎没有创新，因此开发独特的材料，设计和加工技术，以构建增强型电子开关，该开关可以应对必须持续数十年的高温和高应力条件。
该公司称其新开关“比典型的机械开关的运行速度快1000倍，可以处理数百瓦的功率，并且其结构比人的头发还小。” Menlo Micro计划针对其新型数字微型交换机，针对包括5G网络在内的移动基础设施和工业物联网市场。
2019年，Menlo Micro发布了一款采用MEMS技术制造的新型功率继电器。这款继电器的FET与MEMS触点并联。FET可以消除触点的电弧，因为元件内部的控制电路会在触点断开后关闭FET.FET会在触点闭合之前导通，因此导通时间仅为10μs,与传统的MEMS开关相比速度大幅提高。
Menlo Micro由GE Ventures支持，并由Corning Incorporated,Microsemi Corporation和Paladin Capital Group投资。该公司在2016年宣布筹集了1870万美元。
10、Mistic SAS
Mistic SAS是一家位于法国巴黎的初创公司，致力于为医疗设备市场和其他行业开发基于钛的MEMS技术。
Mistic SAS成立于2016年，从2010年代初开始就利用由学术和行业合作伙伴财团领导的研究活动的成果。
Mistic技术的核心是将半导体纳米和微制造技术转换为钛基板（“晶圆”）。据Mistic称，它能够提供多功能的钛基部件，公差低至1μm.
机械和电气特征是通过使用各种材料的选择性沉积和蚀刻工艺来实现的。
为了满足最严格的生物相容性要求，使用专有的生物相容性高贵材料对组件进行了微工程处理。它们包括钛，氧化钛，氮化钛，金，铂和氧化铝，并可以与客户指定的任何材料一起使用。
