项目一期投资1.8亿元,占地面积约35亩,建设总用地面积2 万多平米,6千多平方米的洁净压敏芯片厂,黄光区洁净度100级, 其它功能区1000级,精密机械加工区10000级。目前,启泰传感科技正在规划专为汽车产业研发的第二条金属基压敏芯片生产线,生产线达产后,将年产压敏芯片3000万颗,生产水平达到工业4.0的标准。
20、士兰微——MEMS传感器芯片生产线
士兰微自1997年成立以来,实现了芯片设计、制造、封测等环节的一体化布局,为逐步发展成为MEMS IDM供应商奠定了坚实的基础。自2010年开始,士兰微电子投入大量资金,通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发,在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力,并建立自己的MEMS封测生产线,初步走通了系列传感器的IDM发展之路。
MEMS传感器方面,士兰微已推出三轴加速度计、三轴地磁传感器、六轴惯性传感器、空气压力传感器、红外光感传感器、硅麦克风、心率传感器等MEMS传感器产品,紧跟移动智能终端和穿戴式产品发展的步伐。
21、高德红外——8吋MEMS生产线
高德红外已建成 8 吋 0.25um 批产型 MEMS 生产线,是国内唯一一条自主可控且具备批产能力的非制冷红外焦平面探测器生产线。设计生产能力,器件水平和产业化能力居于国内领先国际先进地位。2019年高德红外进一步投入扩充了晶圆级探测器芯片产线产能,设备已基本到位并调试完毕,后续将加大量产晶圆级封装产品的供货能力,同时扩展晶圆级产品从高中低端的全面覆盖,满足各类客户需求。