2024年9月29日,市场监管总局(国家标准委)发布2024年第22号国家标准公告,批准发布《微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》(GB/T 44513-2024)等六项微机电系统(MEMS)技术国家标准,计划于2025年4月前陆续实施。这六项国家标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)归口,明确了MEMS材料界面结合能的四点弯曲试验方法、MEMS膜残余应力试验方法等内容,在全国范围内进一步统一了对MEMS相关试验、测量方法及技术规范的认识,对推动微机电系统技术发展以及后续相关标准研制具有重要意义。
全国微机电技术标准化技术委员会(TC336)于2008年11月成立,秘书处设在中机生产力促进中心有限公司。下一步,为推动微机电系统技术标准的实施和应用,全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)将组织MEMS行业专家和有关单位编制标准解读和宣贯教材,系统开展微机电系统技术的基础知识培训和国家标准宣贯工作。
近年来,为支撑国内MEMS行业高质量发展,全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)聚焦MEMS产品全生命周期各关键环节,在共性基础、设计及评价、制造与检测、器件可靠性等方面组织制定了49项标准,其中已发布国家标准36项。