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基于 PXI 金属氧化物(MOX)气体的传感器测试方案


  来源: 广州虹科电子 时间:2019-12-09 编辑:仪商WXF
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在测试执行期间记录每个引脚的状态。测试完成后,实际的总线流量(命令和DUT响应)可以从硬件上传到DIOEasy,允许用户评估和/或记录I²C总线通信。


测试过程


Continuity 连续性

每个GX5295 I/O通道提供的每引脚PMU功能用于对通过每个DUT的ESD二极管产生一个小电流,测量二极管上产生的电压降,以确定DUT是否正确安装在其插座中。在此之前,需要启用上拉隔离继电器,因此流经I2C上拉电阻的电流不会破坏连续性测量。设备根据PASS/FAIL状态分类。任何具有FAIL容器状态的设备都会绕过未来的测试评估。


Sensor Initialization 传感器初始化

在将DUT暴露于测试气体并测量MOX电阻之前,必须初始化传感器。初始化读取相关的NVM(非易失性存储器)数据并存储它以用于将来的数据关联。它还根据存储的加热器电阻和当前腔室温度动态计算每个DUT的最小和最大允许MOX电阻值。这些值被存储以供将来使用。气体测试将在确定好/坏设备时使用这些值。


Gas Measurement 气体测量

气体测量测试是MOX气体传感器生产测试的核心。一旦初始化,所有室内的所有装置都暴露于“干净/干燥空气”(CDA),“加湿空气”(通过起泡器运行CDA-BBL)和“测试气体”的受控混合物中。使用可编程质量流量控制器MFC精确控制气体混合物(PPM)。三个MFC中每一个都是通过0V-5V的应用程序进行控制,分别表示占额定流量的0%-100%。每个腔室/负载板中包含第四个MFCMFC控制电压由GX5295sJ3连接器上的辅助PMU通道提供。


在气体测试期间,测试气体的浓度和每个特定浓度的暴露时间由“浸泡列表”定义。浸泡列表包含三种气体的设定点,以及在移动到列表中的下一个设定点之前保持该浓度的持续时间。在规定的时间段结束时,进行MOX测量,与先前计算的MOX最小/最大值进行比较并记录。其它分箱设置类似。

为了简化浸泡参数的应用,在ATEasy中创建了一个表单(8),允许工程师使用GUI创建浸泡列表。可以添加、插入、修改和删除设置点。在执行过程中,GUI会突出显示测试过程在列表中的位置,为操作人员提供测试运行了多长时间,以及完成测试需要多长时间的指示。



在运行浸泡列表时可以启用的一个可选参数是进行中间MOX测量——在浸泡列表设置点之间进行测量。通过在漫长的测试中记录这些额外的测量值,提供MOX操作的其它特征数据。数据日志记录的“Off”选项,仅在设置点进行测量,每分钟测试“2”、“4”、“6”测量值。中间测量值保存到Excel数据日志文件中,但不用于评估通过/失败状态。


Pre-Initialization预初始化

设备由合同制造商(CM)提供,设备的非易失性存储器(NVM)中已经存储了一些信息,如产品ID、相关跟踪号、加热器电阻和测量电阻的环境温度、从地址等。预初始化测试允许工程师用新数据覆盖NVM。这不是在生产过程中使用的正常测试过程。相反,它常常用于让工程师在设备上运行特性测试,并完全控制所有DUT参数。


Sensor Aging 传感器老化测试

传感器老化测试也不是常规生产测试的一部分。它常常用来表征模拟老化过程下的MOX特性。老化测试将CDA运行到加热器温度延长的部件上,用户定义1分钟的循环次数。在此过程中收集分析数据,在老化试验结束时进行正常气体试验,记录MOX特征。


DUT Polling  DUT轮询测试

关键词:PXI 金属氧化物 MOX 传感器 测试方案    浏览量:1631

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