“一个国家、一个民族，要想在世界上真正立足并赢得国际社会的尊重，必须占据高科技领域的阵地，一定要把核心技术掌握在自己手中。”中国工程院院士、西安交通大学精密工程研究所所长蒋庄德说。
多年来，蒋庄德心怀“制造强国”目标，夙兴夜寐，埋头苦干，几十年如一日致力于微纳制造与先进传感技术、精密和超精密加工与测试技术及装备等方面的研究，在高端MEMS传感技术及核心芯片、数字化精密测量与超精密加工技术及装备的工程科技领域取得了突出成就，在微纳米技术相关基础理论和生物检测技术及仪器等方面开展创新性研究。他先后获得国家技术发明奖二等奖2项、国家科技进步奖二等奖2项，并荣获2014年何梁何利基金科学与技术进步奖、2017年首届全国创新争先奖和2020年第十三届光华工程科技奖。
陕西教育系统“大先生”系列融媒体宣传带您品味中国知识分子的风骨和为人师表的赤诚。
本期推出 中国工程院院士、西安交通大学教授 蒋庄德
“一个国家、一个民族，要想在世界上真正立足并赢得国际社会的尊重，必须占据高科技领域的阵地，一定要把核心技术掌握在自己手中。”中国工程院院士、西安交通大学精密工程研究所所长蒋庄德说。
多年来，蒋庄德心怀“制造强国”目标，夙兴夜寐，埋头苦干，几十年如一日致力于微纳制造与先进传感技术、精密超精密加工与测试技术及装备等方面的研究，在高端MEMS传感技术及核心芯片、数字化精密测量与超精密加工技术及装备的工程科技领域取得了突出成就，在微纳米技术相关基础理论和生物检测技术及仪器等方面开展创新性研究。先后获得国家技术发明二等奖2项、国家科技进步二等奖2项，并荣获2014年何梁何利基金科学与技术进步奖、2017年首届全国创新争先奖，2020年第十三届光华工程科技奖。
“现在回过头来看，开始做的那些基础性研究非常重要”
上世纪90年代初，MEMS（微机电系统）和纳米技术成为世界高新科技竞争的制高点。
“当时美国通过半导体工艺做出硅基的静电式微电机，这是一个划时代的变革，给了我很大的震动。传统制造模式中，机电产品由分离式器件组装而成，存在一定的加工周期，而通过半导体工艺，可以一次性、大批量地制备出微型机械、电子器件和系统。”蒋庄德回顾说。正是敏锐地意识到了这一发展趋势以及其广阔的前景，1993年，他率先向学校提交了《关于立即开展纳米技术和微型机械研究的报告》，请求尽快开展这方面研究。
作为机械、电子等学科的交叉领域，MEMS和纳米技术研究当时在国内属于新兴领域。开展这项研究，他们没有任何基础，基本处于无资金、无人员、无专业实验室的“三无”状态。当时，在科研经费紧张的情况下，学校拨了两万块钱作为启动资金，支持蒋庄德开展探索性研究。
那是一段难忘的艰苦岁月。蒋庄德花了8000多元从微电子企业购置了五台二手设备，把办公室窗户用黑布一蒙，搭了一个简易暗室，带着几个研究生就干起来了。面对这一陌生领域，他们从最底层、最基础的研究做起，边学边做，每天除了上课就泡在实验室，在非常有限的条件下，一遍遍反复实验。也是从那时候开始，蒋庄德开始了和姚熹院士团队长达30余年的合作。为研制MEMS器件，经常在姚团队30平方米的超净实验室一做就是一两个月，最终成功研制出分度圆直径为300微米的硅基渐开线齿轮和阵列式硅微传感器。
随着研究前景的日渐明晰，蒋庄德获得了越来越多的支持：国家自然科学基金、国防青年基金、国家重点实验室基金、教育部博士点基金……1995年，在学校支持下，团队从中科院化学所购置了扫描隧道显微镜（STM）、计算机等仪器设备，终于拥有了一个50平方米的超净实验室。随后，在学校的支持下建成了当时国内高校最大的3000平方米超净实验室。实验室硬件建设的改善提高，令蒋庄德在MEMS和纳米技术领域的研究如虎添翼。
