2010年,微纳园依托华润上华,建设MEMS公共技术服务平台,是国内首条与CMOS工艺线和MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台。使无锡形成国内首个具备设计、加工和测试服务能力的较为完备的MEMS公共技术平台,集聚了一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。
2021年微纳园产值130亿元,税收7.3亿元,高新技术企业103家,上市筹备企业12家。拥有中芯国际、华润上华、长电科技等重点企业,江苏物联网研究发展中心、新加坡南洋理工大学MEMS研究中心、华进半导体封装先导技术研发中心等研究机构。
代表性企业:
华润微电子(已上市)
华润微电子是中国MEMS十强企业,IDM公司同时拥有MEMS晶圆代工业务,拥有3条6英寸线,其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线,具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术,用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。
锡产微芯
无锡本地IDM龙头企业,锡产微芯在意大利拥有8寸晶圆生产线(LFoundry,从中芯国际收购),涉及CMOS图像传感器、智能电力、轻触式显示屏及嵌入式存储器等设计、生产。2022年锡产微芯以超百亿元,收购荷兰Ampleon ,跃升全球第二大移动基站射频厂商。
上海:中国最早发布智能传感器一揽子扶持政策的城市
上海是中国当之无愧的半导体第一城,上海在上世纪80年代就布局芯片产业,2000年中芯国际在上海成立,大批半导体设计企业以及制造线集中与此。
发展智能传感器,上海走在前列,是全国最早发布智能传感器产业一揽子政策的城市,早在2019年,上海嘉定发布39条智能传感器产业扶持政策,明确到2025年,嘉定以智能传感器芯片为核心的的智能硬件相关产业产值突破千亿元。
上海嘉定是上海集成电路产业“一体两翼”规划布局中的“北翼”,打造智能传感器全产业链,在上海嘉定工业区拥有全国首条MEMS 8寸“超越摩尔”研发中试线和国内首条12英寸先进传感器中试线,可帮助企业尽快实现规模量产。
在上海嘉定,2016年中国传感器与物联网产业联盟成立,中国传感器与物联网产业联盟相继举办了Sensor China、Sensor Shenzhen等行业重要展览、会议;2018年国家智能传感器创新中心成立,这是我国唯一一个智能传感器国家级创新中心,2019年上海智能传感器产业园成立。
上海嘉定是全国TOP3的智能传感器产业聚集区,上海拥有众多智能传感器设计、封测、制造企业,以及中国科学院上海微系统与信息技术研究所等多个国家级智能传感器研究机构。
代表性企业:
韦尔股份(已上市)
中国最大传感器企业,中国图像传感器龙头企业,世界第三大图像传感器公司。
格科微(已上市)
中国第二大图像传感器企业,CMOS图像传感器出货量全球第一,正在筹建12 英寸 CIS 芯片产线,企业模式将从Fabless向Fablite转变。
思特威(已上市)
中国第三大图像传感器企业,安防监控领域图像传感器出货量第一。
灿瑞科技(已上市)
国内领先的磁传感器及高性能数模混合芯片研发公司,2022年上交所科创板上市。
矽睿科技
中国MEMS十强企业,是我国磁传感器、惯性传感器领先厂商。
此外,上海还有深迪半导体、兰宝传感、禾赛科技、思立微、申矽凌、艾络格、艾普柯微、烨映微等等众多知名传感器企业。
蚌埠:老牌传感器生产基地,智能传感器为四大产业集群之一
主要政策:《中国(蚌埠)智能传感谷产业发展规划(2021-2030)》