中试平台建设迎来新突破！7月11日，由广东微纳院建设的“半导体微纳加工、半导体材料外延”两大中试平台实现产线贯通，吸引12家企业签约合作项目，合作高校、院所、企业代表超180人参加，加速佛山半导体产业向“芯”发展。
广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线。
12个项目签约
强化企业集聚效应
活动上，“半导体微纳加工、半导体材料外延”两大中试平台各签约6个项目，将为半导体企业提供中试流片、客制化材料外延生长等多个服务。另外平台通线后，具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力，2-8吋氮化镓基材料外延生长能力；其中晶圆加工产能为8吋5000片/月，材料外延生长总产能为4吋4000片/月。
半导体微纳加工中试平台项目签约仪式。
其中，半导体材料外延中试平台签约客户、广州市鸿利秉一光电科技有限公司，主要生产紫外发光二极管、半导体激光器等半导体产品，多用于光固化、光医疗、消菌杀毒等领域。目前，国内在半导体激光芯片，尤其是绿光芯片的生产封装方面遇到了较大的技术瓶颈，企业刚好依托平台提供相应的设备及技术支持，实现技术难题突破。
“我们主要看中广东微纳院有很多新型的、先进的设备，可以依托微纳院进行芯片定制研发，再由我们进行封装技术攻关，一起推动紫外发光二极管和半导体激光器产品发展。”广州市鸿利秉一光电科技有限公司研发总监任荣斌说道。
而另一家签约半导体微纳加工平台的企业——红与蓝半导体（佛山）有限公司，则看中了省、市、区各级政府对平台的大力支持，以及平台强大的资源背景。
“企业落户佛山以来，受到市、区各级政府的大力支持。而且平台在中国科学院苏州纳米所的支持下，组建了一支非常专业的团队，无论在设备维护、保养、操作、运行等各个方面，都能为企业进行工艺研发提供了强有力的支撑，吸引我们不断将资源向佛山倾斜。”红与蓝半导体（佛山）有限公司董事长杨战武表示，企业聚焦宽禁带化合物半导体材料，尤其是氮化镓技术和产品的研发、制造。而目前平台所能提供的8吋5000片/月的氮化镓晶圆加工能力，对企业来说是一个巨大的福音。
截至目前，广东微纳院累计孵化引进各类半导体企业43家，企业估值超过30亿元，在半导体微纳加工和材料外延表征等方面形成显著的特色和竞争力。
二期建设封顶
提升平台服务容量
活动当天，历时一年半建设的广东微纳院二期，迎来了封顶仪式。
广东微纳院二期封顶仪式。
依托半导体中试平台，广东微纳院二期建设于2023年3月启动，定位为产业孵化区，建有6万㎡专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度设备安装进场、二季度建成投产，将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。
广东微纳院副院长王晖介绍中试平台规划与建设情况。
广东微纳院副院长王晖表示，将一个毛坯的厂房变成能让企业入驻后直接使用的洁净车间，是一个非常复杂的系统性工程。其中包括水电气以及各种环评资质，并非所有企业都具备建设半导体厂房的专业能力和充足资金。“我们把半导体发展所需要素都先准备好，让企业做到进驻即生产，从客户变成邻居。”
