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广东:大力推动刻蚀机等光芯片关键装备研发和国产化替代


  来源: 仪商网综合 时间:2024-10-22 编辑:清风
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(一)关键材料装备攻关工程。


19. 加快开展光芯片关键材料研发攻关。大力支持硅光材料、化合物半导体、薄膜铌酸锂、氧化镓薄膜、电光聚合物、柔性基底材料、超表面材料、光学传感材料、电光拓扑相变材料、光刻胶、石英晶体等光芯片关键材料研发制造。(省科技厅、发展改革委、工业和信息化厅等按职责分工负责)


20. 推进光芯片关键装备研发制造。大力推动刻蚀机、键合机、外延生长设备及光矢量参数网络测试仪等光芯片关键装备研发和国产化替代。落实工业设备更新改造政策,加快光芯片关键设备更新升级。(省科技厅、发展改革委、工业和信息化厅等按职责分工负责)


21. 支持光芯片相关部件和工艺的研发及优化。大力支持收发模块、调制器、可重构光神经网络推理器、PLC分路器、AWG光栅等光器件及光模块核心部件的研发和产业化。支持硅光集成、异质集成、磊晶生长和外延工艺、制造工艺等光芯片相关制造工艺研发和持续优化。(省科技厅、发展改革委、工业和信息化厅等按职责分工负责)


(二)产业强链补链建设工程。


22. 加强光芯片设计研发。鼓励有条件的机构对标国际一流水平,建设光芯片设计工具软件及IP等高水平创新平台,构建细分领域产业技术创新优势。支持光芯片设计企业围绕光通信互连收发芯片、FP/DFB/EML/VCSEL激光芯片、PIN/APD探测芯片、短波红外有机成像芯片、TOF/FMCW激光雷达芯片、3D视觉感知芯片等领域加强研发和产业化布局。(省发展改革委、科技厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


23. 加强光芯片制造布局。在符合国家产业政策基础上,大力支持技术先进的光芯片IDM(设计、制造、封测一体化)、Foundry(晶圆代工)企业,加大基于硅基、锗基、化合物半导体、薄膜铌酸锂等平台材料,以及各类材料异质异构集成、多种功能光电融合的光芯片、光模块及光器件的产线和产能布局。(省发展改革委、科技厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


24. 提升光芯片封装水平。大力发展片上集成、3D堆叠、光波器件与光芯片的共封装(CPO)以及光I/O接口等先进封装技术,紧贴市场需求推动光芯片封装测试工艺技术升级和能力提升。(省发展改革委、科技厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


(三)核心产品示范应用工程。


25. 加强光芯片产品示范应用。大力支持光芯片在新一代信息通信、数据中心、智算中心、生物医药、智能网联汽车等产业的场景示范和产品应用。培育更多应用场景,加大光芯片产品在信息传输、探测、传感等领域的应用,推动相关领域半导体产品升级换代。(省发展改革委、科技厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


(四)前沿技术产业培育工程。


26. 围绕光芯片前沿理论和技术问题开展基础攻关和研发布局。支持企业、高校、研究机构等围绕光神经网络芯片、光量子芯片、超灵敏光传感探测芯片、光电异质异构混合集成芯片、微腔光电子芯片、幂次增长算力光芯片等技术领域研发布局,努力实现原理性突破、原始性技术积累和开创性突破。(省科技厅、发展改革委、教育厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


三、保障措施


(一)强化组织领导。由省半导体及集成电路产业发展领导小组统筹推进全省光芯片产业布局,整合各方资源,协调解决重大问题。省相关部门及各有关地市,明确工作职责,加大政策支持力度,形成省市联动工作合力,谋划布局标志性项目、专业化园区和重大创新平台。探索建立光芯片产业战略咨询机制,加大对光芯片整体发展趋势、国际形势变化、主要技术走向等基础研判,开展前瞻性、战略性重大问题研究,逐步形成支撑光芯片未来产业发展的产业体系。(省发展改革委、科技厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


(二)强化资金支持。统筹用好现有专项资金支持光芯片产业发展,在基础研究、成果转化、推广应用、龙头企业招引、人才引进等方面给予稳定资金支持。鼓励科研人员围绕光芯片前沿技术领域自主选题、自主研发,加快形成前沿性、交叉性、颠覆性技术原创成果。推动省内企业、高校、科研院所等各类创新主体在国家未来产业领域重大专项等政策实施中承担一批国家级重大项目,加快科技创新和成果转化。发挥省基金及地市相关投资基金的引导作用,鼓励社会资本以股权、债券、保险等形式支持光芯片产业发展。(省发展改革委、科技厅、工业和信息化厅、财政厅、商务厅等按职责分工负责)


关键词:光芯片 国产化替代    浏览量:13093

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