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广东:大力推动刻蚀机等光芯片关键装备研发和国产化替代


  来源: 仪商网综合 时间:2024-10-22 编辑:清风
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10月21日,广东省人民政府办公厅印发《广东省加快推动光芯片产业创新发展行动方案(2024—2030年)》。其中提到,推进光芯片关键装备研发制造。大力推动刻蚀机、键合机、外延生长设备及光矢量参数网络测试仪等光芯片关键装备研发和国产化替代。落实工业设备更新改造政策,加快光芯片关键设备更新升级。




广东省加快推动光芯片产业创新发展行动方案

(2024—2030年)


光芯片是实现光电信号转换的基础元器件,相较于集成电路展现出更低的传输损耗、更宽的传输带宽、更小的时间延迟以及更强的抗电磁干扰能力,有望带动半导体产业变革式发展,有力支撑新一代网络通信、人工智能、智能网联汽车等产业高质量发展。为加快培育发展光芯片产业,力争到2030年取得10项以上光芯片领域关键核心技术突破,打造10个以上“拳头”产品,培育10家以上具有国际竞争力的一流领军企业,建设10个左右国家和省级创新平台,培育形成新的千亿级产业集群,建设成为具有全球影响力的光芯片产业创新高地,制定本行动方案。


一、重点任务


(一)突破产业关键技术。


1. 强化光芯片基础研究和原始创新能力。鼓励有条件的企业、高校、科研院所等围绕单片集成、光子计算、超高速光子网络、柔性光子芯片、片上光学神经网络等未来前沿科学问题开展基础研究。支持科技领军企业、高校、科研院所积极承担国家级光芯片相关重大攻关任务,形成一批硬核成果。(省科技厅、发展改革委、教育厅、工业和信息化厅,省科学院、中国科学院广州分院,各地级以上市人民政府等按职责分工负责,以下均需各地级以上市人民政府参与,不再列出)


2. 省重点领域研发计划支持光芯片技术攻关。加大对高速光通信芯片、高性能光传感芯片、通感融合芯片、薄膜铌酸锂材料、磷化铟衬底材料、有机半导体材料、硅光集成技术、柔性集成技术、磊晶生长和外延工艺、核心半导体设备等方向的研发投入力度,着力解决产业链供应链的“卡点”“堵点”问题。(省科技厅、发展改革委、教育厅、工业和信息化厅,省科学院、中国科学院广州分院等按职责分工负责)


3. 加大“强芯”工程对光芯片的支持力度。扩大省级科技创新战略专项、制造业当家重点任务保障专项等支持范围,将面向集成电路产业底层算法和架构技术的研发补贴、量产前首轮流片奖补等产业政策,扩展至光芯片设计自动化软件(PDA工具)、硅光MPW流片等领域,强化光芯片领域产品研发和产业化应用。(省工业和信息化厅、发展改革委、教育厅、科技厅,省科学院、中国科学院广州分院等按职责分工负责)


(二)加快中试转化进程。


4. 加快建设一批概念验证中心、研发先导线和中试线。支持企业、高校、科研院所等围绕高速光通信芯片、高性能光传感芯片、红外光传感芯片、高性能通感融合芯片、薄膜铌酸锂、化合物半导体、硅基(异质异构)集成、光电混合集成等领域,建设概念验证中心、研发先导线和中试线,加快科技成果转化进程。(省发展改革委、教育厅、科技厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


5. 支持中试平台积极发挥效能。支持中试平台围绕光芯片相关领域,向中小企业提供原型制造、质量性能检测、小批量试生产、工艺放大熟化等系列服务,推动新技术、新产品加快熟化。鼓励综合性专业化中试平台为光芯片领域首台套装备、首批次新材料等提供验证服务,符合条件的依法依规给予一定政策和资金支持。(省发展改革委、教育厅、科技厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


6. 鼓励中试平台孵化更多创新企业。鼓励中试平台搭建众创空间、孵化器、加速器等各类孵化载体,并通过许可、出售等方式将成熟技术成果转让给企业,或将部分成果通过设立子公司的方式实现商业化,孵化培养更多光芯片领域新物种企业。(省发展改革委、教育厅、科技厅、工业和信息化厅等按职责分工负责)


(三)建设创新平台体系。


关键词:光芯片 国产化替代    浏览量:13030

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