合肥工业大学电子科学与应用物理学院的前身应用物理系成立于1980年，当时以物理教育、应用物理、半导体物理与器件等专业为基础组建而成，是国内高校中成立应用物理系较早的单位之一。MEMS工程技术研究中心主要对微传感器和微执行器所涉及的基础理论、微尺度效应、集成设计方法以及传感执行阵列等进行研究。
官网：http://dwxy.hfut.edu.cn/2015/0731/c5593a109476/page.psp
15、杭州电子科技大学材料与环境工程学院
主要研究方向：磁性传感器、磁电隔离耦合器件及磁性逻辑器件等
主要研究单位：磁电子中心
磁电子中心主要研究方向包括：磁性功能材料制备及表征、集成磁电子功能器件设计及制备、姿态检测与惯性导航、传感器噪声分析和微弱信号处理、智能传感器与传感器网络等。
官网：http://cmee.hdu.edu.cn/4734/list.htm
16、上海交通大学
主要研究方向：MEMS技术的微惯性器件、微飞行器、微安全保证系统、微表面应力传感器、微流控生化芯片、新型传感器、光电与视觉检测、生物医学感知等
主要研究单位：微系统集成研究所、仪器科学与工程系现代传感器与光电检测研究室
微系统集成研究所研究方向涵盖控制、机械、电子、材料、生物等领域。在微惯性器件方面，研究重点为静电悬浮微陀螺、静电悬浮微加速度计以及固体模态振动微陀螺等，微表面应力传感器包括微剪切应力传感器、微脉动压力传感器等。
现代传感与光电检测研究室隶属于上海交通大学电子信息与电气工程学院仪器科学与工程系，主要致力于新型传感器、光电与视觉检测、生物医学感知等方面的科学研究，具有多项国际首创的科研成果，部分技术水平处于国际领先。
官网：https://microsystem.sjtu.edu.cn/index.html
17、厦门大学萨本栋微米纳米技术研究院
主要研究方向：微纳米材料及微纳米器件与系统的研究与应用
主要研究单位：-
萨本栋微米纳米科学技术研究院，前身为萨本栋微机电研究中心，由厦门大学、萨本栋教育科研基金会和厦门市政府共同创建设立，于2002年9月在思明校区开始正式运行，2003年通过验收成为厦门市MEMS工程中心，2006年获准筹建微机电系统福建省高校重点实验室。于2010年12月更名为萨本栋微米纳米科学技术研究院，以微纳传感和新能源材料为主要研究方向。
官网：https://sbd.xmu.edu.cn/
18、重庆大学微系统研究中心
主要研究方向：生化微系统、微能源器件与系统、微纳器件技术等
主要研究单位：-
重庆大学微系统研究中心是横跨光学、机械、电子、信息工程、生物化学等多学科的综合性研究中心，是国内涉足微型机电系统（MEMS）研究领域最早的单位之一，也是重庆大学“211”和“985”工程重点学科建设平台之一。中心建有新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室、微纳系统与新材料技术国家级国际联合研究中心、重庆市微光机电工程技术研究中心等研究基地。在MEMS领域主要开展了新型微传感器、微结构、微光学元件、微执行器、微能源、信号处理及控制电路等的一体化三维集成技术的研究，在微型传感器系统、微型分析仪器、微能源的研究方面取得了重要进展，形成了自身的特色和优势。
官网：http://msc.coe.cqu.edu.cn/
19、东北大学信息科学与工程学院
主要研究方向：智能光电器件、智能感知技术、光子晶体光纤、红外光纤光学、非线性光学及微纳光电器件等
主要研究单位：电子科学与信息光学研究所、智能光电子研究所
