随着功率半导体器件的发展，半导体设备的发展也不断兴起。国家重要会议提出，到 2035 年要实现高水平科技自立自强。从半导体设备行业的国产替代角度而言，目前我国在核心半导体设备方面的替代空间巨大，同时技术提升也十分迫切，这对行业内公司来说既是机遇也是挑战。
航裕电源功率半导体测试解决方案主要针对功率半导体器件测试和半导体设备供电两大方向，提供多种测试方案，满足不同测试需求。
本文主要讲解功率半导体设备供电部分。
航裕电源致力于为功率半导体设备提供便捷高效可控的智能可编程电源，助力集成系统设备完成各项测试工作。
青铜剑功率器件动态特性高效测试系统选用航裕电源
对于整机设备供电来说，首先电源的体积不易太大，要能与设备匹配连接，并满足设备的测试用电需求。航裕电源多年来与青铜剑、华润微电子、众硅、威宇佳等半导体整机设备企业用户沟通合作，发现根据产品情况的不同，对产品参数的需求变化也很大。目前，高压电源依然占据市场的主要需求份额。
以功率器件测试系统一体设备来说，测试电源需要满足以下几点需求：
■ 输出电压最大达到10kV
■ 保持稳定运行时间达到8小时
■ 精度在±1级以上
■ 电压值从0到额定值连续可调
更多要求参数可参见行标：GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
以离子注入机为例，所需求的电压更远远高于功率器件测试一体设备。参见行标：EJ/T 647-1994 金属用工业离子注入机，其中描述供电电压需求达到100kV，高压绝缘测试对电压的要求高达150kV。
产品选择
1高压类供电电源
选用电源：
■ HY-HV系列可编程高压直流电源
■ HY-HVL系列线性高压直流电源
电源对比
2集成类便携电源
选用电源：
■HY-S系列1U超薄可编程直流电源
■HY-G系列1U半宽超薄可编程直流电源
■HY-Z系列便携式可编程直流电源
产品介绍海报
高压类测试电源
集成类便携式电源
