同时,根据Yole的说法,与10年前相比,意法半导体(STMicroelectronics),德州仪器(Texas Instruments)和惠普(Hewlett Packard)市场份额大有缩减之势,而TDK则按照自己的步伐发展。
MEMS代工厂格局:中国赛微电子控股的代工厂荣登第一
将代工厂用于MEMS的半导体时代已经开始。2018年MEMS代工市场为4.9亿美元,2019年增长了5%,达到5.1亿美元。MEMS代工主要有两种类型:IDM厂商提供的MEMS代工,以及独立代工厂提供的MEMS代工。其中,独立的代工厂包括集成电路代工厂和纯MEMS代工厂。
全球领先的纯MEMS代工厂有Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Pacific Microsystems、X-FAB、Innovative Micro Technology等。台积电是全球最大的晶圆代工厂,其MEMS代工业务也排在行业前列。目前,提供MEMS代工的IDM厂商主要有ST、索尼、TI等。根据Yole发布的2019 MEMS foundry排名情况来看,与2018年还是有很大变化的。
2019年的MEMS Foundry销售额排行榜。一般情况下,MEMS Foundry也兼具半导体Foundry的功能,此处仅仅是MEMS Foundry的销售额统计。(图片出自:Yole Développement)
2018年的MEMS Foundry销售额排行榜(图片出自:Yole Développement)
首先可喜可贺的是,Top1是中国的赛微电子(原耐威科技)控股公司Silex Microsystems,2018年Silex Microsystems排在第四位。自2000年成立以来,Silex一直是一家专门生产定制MEMS产品的制造商,并作为一家独立的MEMS代工厂运营。Silex拥有世界上第一个专用的8英寸纯MEMS代工厂。
2015年7月13日,香港投资控股公司GAE Ltd.收购了Silex 98%的股份。因此,GAE已获得对Silex的实际控制权,而GAE的背后则是赛微电子(原来中国的耐威科技),获得对Silex的控股后,赛微电子在北京建设了MEMS晶圆代工厂,以扩大该公司的产能。Silex在瑞典拥有6英寸和8英寸晶圆厂,并在瑞典投资1200万美元进行了升级。Silex的优势在于使用其自有的硅通孔(TSV)技术,Silex还使用锆钛酸铅作为压电材料,用于能量收集等新型应用。
变化较大的是ST和格芯,18年ST排在Foundry第一位,这次跌到了第13位;格芯19年卖掉了8寸MEMS工厂,退出了MEMS业务,2018年格芯排在第七位,这次已不在席列。
排名第二的Teledyne DALSA和第三Sony未发生变化,台积电由2018年的第五上升到了第四位,X-FAB上升了一位排在第五,Asia Pacific Microsystems从2018年的第10进入第7,罗姆由第8跌到第15位。
国内MEMS产业缩影:产业链初具规模
最近几年,国内MEMS产业经过政府和企业的共同努力,已经形成从设计研发(中试)、生产制造、封装测试到系统集成的完整MEMS产业链条。
在科研领域有苏州纳米科技、上海微技术工业研究院、中国科学院电子所等等;设计业也涌现了一大批优秀的企业,如挤进全球前十的歌尔股份、前两天科创板上市的敏芯股份、瑞声科技、共达电声,还有部分初创MEMS公司已经峥嵘初现,如华景传感、明皜传感、深迪半导体、通用微,也包括如士兰微、韦尔股份的传统型集成电路厂商,还有格科微电子、矽睿科技、芯奥微、美新半导体、青岛元芯、华美澳通、无锡纳微电子、士兰微等等;MEMS代工企业也越来越专业,如中芯国际、上海先进、华润上华、罕王微电子、赛微电子(原耐威科技)等;封测企业中包括长电科技、晶方科技、华天科技;系统集成应用商包括华为、比亚迪、海康威视、中兴等。
在MEMS麦克风领域,四大中国厂商包括歌尔股份、瑞声科技、共达电声、敏芯股份合计市场份额高达48%,几乎占据全球MEMS麦克风市场的半壁江山!根据IHSMarkit的数据统计,敏芯股份MEMS麦克风2016年出货量全球排名第六,2017年全球排名第五,2018年全球排名第四。
2017~2019年全球领先的MEMS麦克风厂商营收(来源:麦姆斯咨询)
目前,在国内涉足MEMS的公司中有不少龙头企业,歌尔股份和敏芯股份是MEMS麦克风领域的龙头,赛微电子是MEMS代工的龙头,苏奥传感国内汽车油量传感器龙头,苏州固锝子公司的MEMS加速度传感器销量国内名列前茅,华工科技是国内家电温度传感器龙头,汉威电子是国内气体传感器龙头,还有军工MEMS的龙头中航电测。